【实验一】扫描探针显微镜(SPM)课件.ppt

分析测试中心 扫描探针(spm)显微镜 胡海龙 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道显微镜（STM）特点 优点：1.目前分辨率最高的显微镜 2.可通过对扫描隧道谱的分析得到样品 表面的局域电子态密度在能量空间上的分布信息。 缺点：只能在导电物体表面上测量 原子力显微镜（AFM）特点 优点：1.可测量导体、绝缘体的表面形貌 2.所得样品形貌清晰 3.控制针尖对样品的压力和样品的形变获得力学曲线，研究样品表面的力学特性 4.利用针尖与样品的横向形变大小，研究样品表面的摩擦特性 缺点：1.对样品表面损害较大 2.不适合扫描表面柔软的样品。 动态力显微镜（DFM)特点 优点：1.对样品表面伤害较小 2.适合扫描表面柔软的样品 扫描探针显微镜（SPM）的应用 3维形貌表征 表面形貌剖面分析（高度和宽度） 表面分析（粗糙度：Ra平均粗糙度，RMS均方根粗糙度） 薄膜厚度测量 表面粗糙度（RMS均方根粗糙度） 思考题 1. 扫描探针显微镜主要由哪五个部分组成,叙述扫描探针显微镜的工作原理。 2. SEM、TEM、SPM在样品形貌分析方面有何异同之处。 3. 光杠杆式原子力显微镜探测针尖与样品表面的接触力的原理是什么? 4. STM、AFM及DFM各自的特点。 5 扫描探针对样品的表面有什么要求 * * 显微镜介绍 扫描探针显微镜(spm)：利用末端半径为纳米级的微小探针，利用探针与样品表面之间的相互作用，以扫描的方式对样品表面的三维形貌进行分析的一类显微镜。 与样品表面超近距离相互作用，触摸成像，横向分辨率0.1nm，纵向为0.01nm。 扫描探针对于样品要求：1.样品厚度不超过1cm 2.表面清洗干净，无污染 3.表面比较平整 扫描探针显微镜SPM (scanning Probe Microscopy) 扫描隧道显微镜STM （Scanning Tunneling Microscopy) 动态力显微镜DFM（Dynamic Force Microscopy） 原子力显微镜AFM（Atomic Force Microscopy) 工作原理：保持隧道电流的值恒定。 原子力显微镜 （AFM）（Atomic Forces microscopy） I II III IV 针尖z方向的形变量可用上下象限的光强差精确得到 光斑位移量s可通过 得到，并且可通过光杠杆原理得到针尖的形变量 ?d s 四象限探测器探测针尖形变的原理 针尖与样品表面一直接触，通过针尖的形变量，针尖与样品之间的距离大小。 针尖在扫描过程中会拖拽样品，产生额外的横向力（摩擦力） 容易将弱吸附在表面的样品扫走 原子力显微镜AFM成像的机制 动态力显微镜（DFM) 自由振荡 振幅衰减 工作原理：保持针尖悬臂的振幅衰减量不变 动态力显微镜（DFM) 动态力显微镜是在样品扫描过程中，让探针的悬臂在其共振频率附近作受迫振动，使得针尖以敲打的方式敲击样品表面，由于在敲击过程中针尖与表面之间的相互作用力会改变针尖的振动状态（振幅，频率），从而引起反馈与控制扫描系统的反应，调整扫描状态，保证针尖悬臂的振动状态为初始状态，从而获得样品表面的形貌特征。 这种扫描成像的方式减弱了针尖对样品的切向伤害，并且使得针尖与样品之间的相互作用力大大减小。动态力显微镜(DFM)对样品表面基本没有损伤，可以对柔软、易碎的样品进行表征。 相位像成像——样品表面倾斜角度不同 3维形貌表征 表面形貌剖面分析（高度和宽度） RMS : 2.321nm RMS: 15nm 薄膜厚度测量 * * *