亚阈值下MOSFET氧化层和空间电荷区的二维电势解析模型.pdfVIP

第 期 电 子 学 报 １１ Ｖｏｌ．４１ Ｎｏ．１１ 年 月 ２０１３ １１ ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｎｏｖ． ２０１３ 亚阈值下 ＭＯＳＦＥＴ氧化层和空间电荷区的二维 电势解析模型 ， １２ １ １ １ １ 韩名君 ，柯导明 ，王保童 ，王 敏 ，徐春夏 （ 安徽大学电子信息工程学院，安徽合肥 ； 芜湖职业技术学院电子信息系，安徽芜湖 ） １． ２３０６０１２． ２４１０００ 摘