玻璃基离子交换波导光功率分配器设计和工艺制作.pdfVIP

摘要 离子交换是一种传统有效的玻璃基光波导制作技术。与其它几种玻璃基光波 导制作技术相比，它成本低廉，传输损耗低，与光纤匹配好，玻璃基片应力小， 环境稳定性好，甚至易于掺杂稀土离子例如掺铒光放大器。离子交换适合用于生 产低成本大批量的无源光器件。 光功分器是一种大量应用于无源光网络的基础器件。它的性能指标主要有插 入损耗、均匀性、偏振相关损耗和环境稳定性。 本文主要分析讨论了光功分器的微观结构设计，归纳出了三个重点：曲率半 径的选取，Y分叉设计的注意事项，还有Y分叉前端的直波导的长短。曲率半 径和Y分叉影响器件的损耗和长度，直波导的长短影响功率分配的均匀性。 利用典型的单模波导银钠离子交换工艺，制作了参数版，测定了波导曲率半 径和插损的关系。 改进了lx8光功分器的设计，使器件总长度压缩到12．5mm，并且保持性能 优异。工艺实验结果证明了该设计是成功的。根据改进的设计制作的功分器，插 损可以达到】0dB以下，均匀性可以达到O．3dB以下。参考直波导的插损约为 0．5dB。 mm，l 改进了1×16和1x32的设计。1x16芯片的总长度为15x32芯片的 总长度为24mm。 实验结果表明光功分器的工艺容差比较大，制作参数可控，重复性好。只要 波导宽度控制在81．tm以下，深度控制在14lam以上，波导单模，功分器的性能 便可达标。 关键词：集成光学；玻璃基光波导；离子交换；光功分器；平面光波导 II Abstract effectivemethodfor isatraditional Ion-exchange manufacturingglass—based toother method， waveguides．Comparingglass-basedwaveguidesmanufacturing islow with internal fiber,low cost，low loss，compatible Ion—exchange propagation for stress，environmentalstability,even Er+opticamplifier． capabledoping isa choiceformass of device． Ion-exchangegood manufacturingpassiveoptical isabasicdeviceusedin Opticalpowersplitter PON(PassiveOpticalNetwork)． includeinsertion Its indicators performance DependenceLoss)，environmentalstability． themicrostructureofthe Throughinveging design opticalpowersplitter，this three selectionofthecurvature paperprop