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纳米氧化锌薄膜掺杂失效的重要因素.pdf

2011 年 第 56 卷 第 25 期:2133 ~ 2138 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 纳米氧化锌薄膜掺杂失效的重要因素 张治国 泉州师范学院功能材料研究所, 泉州 362000 E-mail: qzzzg@ 2011-04-18 收稿, 2011-06-01 接受 福建省高校服务海西建设重点项目(A100)和福建省教育厅A 类科技项目(JA08210)资助 摘要 从纳晶薄膜的形貌出发, 根据纳晶氧化锌薄膜的几种构成归纳了几点近似说明. 这几点 关键词 说明旨在把纳晶薄膜和单晶薄膜区分开来, 同时利用Kronig-Penney 模型计算了纳晶薄膜的带 纳米薄膜 尾态分布, 设定了一个特征函数, 给出了不同 c/b 值下带尾态分布图. 根据这些图形的特点进 氧化锌 一步分析了纳晶氧化锌薄膜的掺杂失效现象和薄膜成为绝缘体的条件, 得出了纳晶氧化锌薄 掺杂失效 膜的电导出现的条件, 也给出了制备 P 型氧化锌材料的条件. 当纳晶晶粒达到微晶量级时, 带 尾态变得连续起来, 回归单晶的特点. 最后给出大晶粒材料具有导电优势. 纳米氧化锌材料有许多奇特的物理性质, 近年 晶粒与晶粒之间、棒晶与棒晶之间都有一定的间隔, 来人们对它的研究兴趣越来越浓厚, 大家关注的重 即晶粒间界; 在尺度上有的大些有的较小; 氧化锌 要问题有薄膜的掺杂、荧光、能带结构等[1~4], 以及 的带隙宽度更是多样化, 有据可查的带隙宽度就有 导电类型[5] [6~9] [10] 3.3, 3.36, 3.4, 3.6, 3.75, 4.5, 4.54 eV; 显然, 这是不同 、制备工艺 、压电效应 、对特殊器 件的应用以及能带计算隙态等问题[11~13]. 一般地, 研究人员采取不同工艺制备的、不同大小晶粒的氧化 对于能带的研究都是利用氧化锌超原胞模型进行研 锌材料. 氧化锌纳米晶的带隙宽度随尺度而变化, 根 究的, 这些研究结果适用于单个纳米晶粒或单晶. 在 据下式可以给出大小不同的晶粒所对应的带隙宽度: 我们的实验中发现, 对于由纳米晶粒组成的薄膜的 n c U E opt E 2 i 0 , (1) 掺杂难以凑效. 本文力图通过对氧化锌薄膜的能带 g g i 1 x1 x 0 结构的建立和讨论, 进而说明导致氧化锌纳晶薄膜 其中Eopt 为氧化锌薄膜的带隙宽度, Eg 为大晶粒或单 g 掺杂失效的一个重要因素. 鉴于此, 本文通过几点假 晶氧化锌的带隙宽度, c 为晶粒间界宽度, U0 为势垒 设并利用 Kronig-Penney 模型, 从一个全新的角度来 高度, x 1x0 为类狄拉克梳的n 个周期距离. 不同大小 说明由纳米晶粒组成的氧化锌薄膜的掺杂失效因素, 晶粒的带隙宽度见表1. 及其随着晶粒的增大掺杂效应变得显著、导电能力变 表1 给出了两个c 值下的光学带隙值和晶粒线度 强的问题. b. 由表1 可以看出, 只要给出一定的晶粒间界宽度c 和c/b 的值, 立即可以得出带隙宽度和任

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