空间三平移超精定位平台及控制方法研究.pdfVIP

摘 要 近年来，随着科学技术的发展，超精密定位技术得到了飞速发展，实现超精 密操作的微动机器人受到人们的日益关注，并且具有广阔的应用前景和巨大的发 展潜力。 本文以典型的空间三平移并联机构Delta 机构为理论基础，设计了一种新型 的三自由度并联机器人，即空间三平移微动超精密并联机器人，该微动机器人采 用全柔顺的弹性支撑结构，以压电陶瓷作为驱动元件，具有分辨率高、刚度大、 能耗低和结构紧凑等优点。 针对微动定位机器人的特点，根据常规的刚性运动副设计出柔性运动副，再 以柔性铰链为基本组成单元及弹性支承，设计出柔顺支链，最后根据柔顺支链设 计出了空间三平移超精密定位平台。对定位平台进行了理论分析，包括机构的位 姿、位置正解和反解分析。运用ansys 对所设计模型进行了有限元分析，包括柔 性铰链的有限元分析，柔顺支链的有限元分析，整个平台的有限元分析，以及定 位平台的模态分析。结果表明，本文所设计的定位平台能够达到纳米级的精密定 位。在分析压电陶瓷驱动器的驱动机理的基础上，对其电容特性、温度特性、迟 滞、蠕变和非线性等特性进行了研究。建立了超精密定位平台系统的传递函数， 采用神经网络PID 控制算法对平台进行了精确控制，并进行了相关的实验研究， 通过Matlab 得出了系统的仿真曲线。研究结果表明，所选的控制方法在超调量、 调节时间及稳定性方面都能达到要求。 关键字：超精密定位平台；柔性铰链；柔顺机构；有限元分析 I Abstract With the development of science and technology, ultra-precise positioning technology gets rapid development in recent years. The micro-robots which can realize ultra-precise operation is concerned by more and more people. What ’s more, it has promising application and great development potential. Based on the typical spatial 3-DOF parallel mechanism- Delta mechanism, a new 3-DOF parallel robot which called 3-DOF spatial translational ultra-precision parallel robot is designed. The robot using elastic supporting structure, and with piezoelectric actuators as its drives. It has high resolution, stiffness, low energy consumption and compact structure. The flexible hinge is designed from conventional kinematic pair according to the characteristics of micro-robot which can realize ultra-precise operation. The flexible chain is designed according to the flexible hinge and its elastic supporting. A compliant 3-DOF spatial translational ultra-precise positioning platform is designed according to the flexible chain