机电集成静电谐波微马达转子面外自由振动分析.pdfVIP

第27 卷第3 期 Vol.27 No.3 工 程 力 学 2010 年 3 月 Mar. 2010 ENGINEERING MECHANICS 180 文章编号：1000-4750(2010)03-0 180-06 机电集成静电谐波微马达转子面外自由振动分析 * 李耀伍，许立忠 (燕山大学机械工程学院，秦皇岛 066004) 摘 要：提出了一种基于静电驱动的新型谐波微马达，并描述了该微电机的基本工作原理，分析了进行转子面外 动力学研究的必要性。基于传动系统的变形能、动能和电场能，利用Hamilton 原理得出了转子面外自由振动平衡 方程。然后，对两种不同的模态进行了求解，给出了系统自由振动频率的表达式，分析了系统参数对自由振动频 率的影响规律。研究结果对于该马达的动力学性能设计以及工作参数的选择具有重要的指导意义。 关键词：谐波马达；柔轮；面外振动；弹性理论；Hamilton 原理 中图分类号：TH132 文献标识码：A OUT-PLANE FREE VIBRATION ANALYSIS FOR ELECTROMECHANICAL INTEGRATED ELECTROSTATIC HARMONIC MICRO-MOTOR * LI Yao-wu , XU Li-zhong (College of Mechanical Engineering, Yanshan University, Qinhuangdao 066004, China) Abstract: A novel electrostatic harmonic micro-motor is proposed and its operating principle is described. The necessity to investigate out-plate dynamics for the drive system is analyzed. Based on deformation energy, kinetic energy and electric field energy, the dynamic differential equation is obtained by means of Hamilton principle. The equation is solved for two different modes and the equation of the natural frequency is derived. The changes of the natural frequency along with the system parameters are given. The results are useful for the dynamic characteristic design of the micro-motor and the reasonable system parameters determination. Key words: harmonic micro-motor; flexible ring; out-plane vibration; theory of elasticity; Hamilton principle 随着航天、医疗器械、军工等领域技术的不断 的扭矩，并进行了实验；Sakata[5]等描述了顶驱式 [1―2] 发展，人们对静电微马达的兴趣越来越大 。所 静电电机的结构组成，并对其进行了数值分析和驱 谓静电微