材料电子显微分析技术资料.ppt

技术参数 1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV) 2.加速电压：0.1KV-30kV 3.放大倍数：25-100万倍 4.样品室尺寸：最大200mm直径样品 5.束流强度：10-13到2*10-9 冷场发射扫描电子显微镜（Cold Field Scanning electron microscope） 型号：JSM-7500F 主要特点 1.主动式减震器； 2.最先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 ；3.标配的五轴马达驱动全对中样品台； 4.全自动样品更换气锁； 5.全自动样品监控系统 ；6.全自动物镜光阑； 7.多通道显示系统； 8.自动减速系统标准配置； 技术参数 1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV) 2.加速电压：0.5KV-30kV 3.放大倍数：10-500K 4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm 5.束流强度：1pA到200nA 主要特点 1.浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA； 2.无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测和EBSP观测不变形； 3.自动光阑角控制器,无需调整光阑； 4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度； 5.适于配合多种分析性探头； 热场发射扫描电子显微镜（thermionic Field Scanning electron microscope） 型号：JSM-7001F a b c d Si沿[110]方向的Z 衬度像； Ge沿[112]方向的Z衬度像； 图b)的傅立叶变换形式； Ge沿[112]方向的Z衬度像， Z衬度像 a b a)[01-1]晶带轴下的Z衬度像；b)傅立叶变换后的结果 谢谢！ 中南大学 材料科学与工程学院 艾　延　龄 E-mail: ylai@mail.csu.edu.cn 材料结构分析 中南大学 材料科学与工程学院 艾　延　龄 E-mail: ylai@mail.csu.edu.cn 绪论 材料电子显微分析技术 主要参考书目 陈世朴，王永瑞.《金属电子显微分析》，机械工业出版社，1982 周玉，武高辉.《材料分析测试技术——材料X 射线衍射与电子显微分析》，哈尔滨工业大学出版社，1998 刘文西,陈玉如.《材料结构电子显微分析》，天津大学出版社 1989 郭可信，叶恒强，吴玉昆.《电子衍射图在材料科学中的应用》，科学出版社 1983 黄孝瑛.《透射电子显微学》，上海科学技术出版社，1980 郭可信、叶恒强.《高分辨电子显微学在固体科学中的应用》，科学出版社 1985 进藤大辅，平贺贤二 著，刘安生 译.《材料评价的高分辨电子显微方法》，冶金工业出版社 1998 David B. Williams and C. Barry Carter. Transmission Electron Microscopy. Plenum Press, New York, 1996 电子显微镜(Electron Microscope) 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope) 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope) 电子显微学(Electron Microscopy) 透射电子显微学(Transmission Electron Microscopy) 本课程的几个概念 材料电子显微分析技术这门课程研究的内容是与电子显微镜有关的科学和技术。所以我们首先要搞清楚什么是电子显微镜？它是怎样发展起来的？为什么要发展这样一种仪器？它有哪些优缺点？电子显微镜的发展过程及其最新进展如何？ 什么是显微镜？ 显微镜是用于放大微小物体成为人的肉眼所能看到的仪器 。 显微镜是一种借助物理方法产生物体放大影象的仪器 单式显微镜（只有一个透镜）：如放大镜等； 复式显微镜（有物镜和目镜）：如我们现在比较熟悉的显微镜。 a b c d 第一台显微镜（詹森显微镜） 列文.虎克显微镜(十七世纪中叶) 十九世纪的显微镜 现代的显微镜 问题：大家用过的光学显微镜中，最大可以放大到多少倍？ 从理论上来讲，只要我们愿意，我们可以通过增加透镜等方法使光学显微镜的放大倍数达到无穷大，这在工艺上没有任何问题，但为什么不这样做？ 涉及到一个重要的概念： 光学仪器的分辨本领和分辨率 圆孔的夫琅禾费衍射示意图（a）和衍射圆斑（b） 衍射圆斑中以第一暗环为周界的中央亮斑的光强度约占通过透镜总光强的百分之八十以上，这个中央亮斑被称之为埃里斑。 显微镜的最小分辨距离由瑞利公式给出： 其中： Δr0：最小可分辨距离； λ： 光源的波长； n： 物点和透镜之间的折射率； α： 孔径半角，即透镜对物点的张角的一半；nsinα称