传感器的加工工艺详解.ppt

第2章 传感器的理论与技术基础 ——传感器的理论与物质基础 2.3 传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 1．弹性体的加工和处理 2．应变计的粘贴与固化 3．组桥、布线与性能检查 4．传感器的性能补偿与老化 5．防潮密封工艺 6．性能检测和标定工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.1微传感器与微机电系统 2.3.2.1微传感器与微机电系统 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.2 MEMS所用材料 1．单晶硅与多晶硅 2.3.2微机械加工工艺 2．氧化硅与氮化硅 3．金属材料 4．光刻胶 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.3传统超精密与特种加工技术 超精密机械加工 微钻孔加工 微铣削加工 微细磨削（超精密磨削） 微细电火花加工 2.3.2.3传统超精密与特种加工技术 2.3.2微机械加工工艺 高能束微机械加工技术 激光束加工 电子束加工 2.3.2微机械加工工艺 离子束加工 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺 薄膜成形 氧化 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺 金属化 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺 化学气相淀积 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺 外延 旋涂法 厚膜工艺