超导量子比特中铝超导隧道结的性能.pdfVIP

2011 年 第 56 卷 第 34 期：2923 ~ 2927 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 超导量子比特中铝超导隧道结的性能 * 沈丹丹, 朱冉, 许伟伟 , 常俊杰, 吉争鸣, 孙国柱, 曹春海, 陈健 南京大学电子科学与工程学院, 超导电子学研究所, 南京 210093 * 联系人, E-mail: wwxu@ 2011-03-18 收稿, 2011-09-20 接受 国家重点基础研究发展计划(2011CBA00107, 2009CB929602)、国家自然科学基金 和教育部博士基金(200802840031) 资助项目 摘要 超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件. 用双层光刻胶构成悬空掩模, 关键词 用电子束斜蒸发的方法制备 Al/Al O /Al 隧道结, 用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层. Al/Al O /Al 超导 2 3 2 3 势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数. 深入研究了铝超导隧道结的超导临界 隧道结 电流密度J 和面积归一化电阻R (正常态电阻R 与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系, 电子束蒸发 c c N 超导量子比特 通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的J 和R , 以使此工艺所制 c c 备的铝隧道结漏电流小, 结参数易于控制, 满足制备超导量子比特的要求. 近年来, 对超导器件的研究在国内引起了越 有利于实现量子计算的多元逻辑运算[22]; 铝的熔点 来越广泛的关注, 主要研究集中在超导约瑟夫森 (660 ℃)远低于其他常见的超导材料(如 Ni 2477 ℃), [1] [2~5] [6] 结 、滤波器 , 单光子检测器 和热电子测辐射计 易于蒸发, 因此容易制备. (HEB)[7]等器件的制备和应用. 其中一个重要的方面 为了构建超导量子比特, 我们对制备超导隧道 是应用于超导量子比特的超导约瑟夫森结和超导量 结的工艺与特性进行了深入研究. 采用悬空掩膜-倾 子干涉器件(SQUID)[8~12] 的研究. 量子计算作为一种 斜角度蒸发工艺[23]来制备 Al/Al O /Al 超导隧道结. 2 3 新型的计算体系, 已经证明具有超越传统计算机的 此方法具有可以制备出小面积(如亚微米，纳米级) 的 优越性能. 在处理如大数分解等经典计算机难以完 隧道结, 制备工艺简单, 制备出的结漏电流小等优点. 成的任务时,