掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究.pdfVIP

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2016-03-28 发布于河北
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掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究.pdf

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掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究.pdf

第29卷第2期真空科学与技术学报 (J-IINESE OFVACUUMSCIENCEAND’IEa删OCY 119 2009年3,4月 JOURNAL 掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究李拮张溪文。韩高荣 (浙江大学硅材料国家重点实验室杭州310027) Growthand of ila-Si：I-I Characterization Boron—Doped FilmsUsedIllsWindowMaterialofSolarCells Layer Li C,aorong zhe，撕Xiwen’，ttan (DqⅫ咖咄矿jI|2曲诎‰and ．^,bstraetThe were enhancedchemical Bilieon(m-Si：H)films boron-d叩ed，maao-amorphous dep06itedbyplasma of mieroslrueturesand ofthe f幽rieatethewindow solarcells．The vapordep∞ilion(PECVO)to layers opticalproperties filmswere and in- na-Si：tt I．IV·VI ch蹦lcteliz耐byX-raydi：陆舶(XRD)，R曰叮硼speelromelre flueneeof the flowrati08of flowrateof film殍owtheonditiom，i,ldudinggas B2H6／SiH4，RFpower，the the山枷l唱gas， andthesubstrate themicrostructur嘲andofthefilmwasstudied．ThereBultsshowthatthe temperat眦，On properties volume of na-Si：H boroncontent affects sizeand fractionthe films．For 8蛔[1iii锄dythe伊ailI crystalline borma ofthena-Si：H．Asboron eonlents bOlOn陀- aopilll；favorsctystallizalion dopant inerea嗍，the catalyst硼如砌l唔of sdtsin na-Si：Hhas band and a衄aorphousphase．TheB·doped t3．1aIgeroptic