常用传感器的工作原理详解.ppt

第3章 常用传感器的工作原理 3.1 电阻式传感器 3.2 电容式传感器 3.3 电感式传感器 3.4 电涡流式传感器 3.5 压电式传感器 3.6 磁电式传感器 3.7 热电式传感器 3.8 光电式传感器 3.9 霍尔传感器 3.10 光纤传感器 3.9 霍尔式传感器 3.9.1 霍尔元件 3.9.2 霍尔集成传感器 3.9.3 霍尔传感器的应用 3.9.1 霍尔元件 霍尔传感器是基于霍尔效应的一种磁敏式传感器。霍尔式传感器已经广泛应用于电磁、压力、加速度、振动等的测量领域。 （1）霍尔效应及霍尔元件的命名方法 如图3.108所示在金属或半导体薄片相对两侧面ab通以控制电流I，在薄片垂直方向上施加磁场B，则在垂直于电流和磁场的方向上，即另两侧面cd会产生一个大小与控制电流I和磁场B乘积成正比的电动势UH，这一现象称为霍尔效应。即 （3.126） 式中：KH——霍尔元件的灵敏度。 （3-127） 式中：RH——霍尔系数，它反应元件霍尔效应的强弱，由材料性质决定。单位体积内导电粒子数越少，霍尔效应越强，半导体比金属导体霍尔效应强，所以常采用半导体材料做霍尔元件； d——霍尔元件的厚度。 由式（3-127）可知，对于材料和尺寸确定的元件, KH保持常数，霍尔电势UH仅与I B的乘积成正比。利用这一特性，在恒定电流之下可用来测量磁感应强度B；反之，在恒定的磁场之下，也可以用来测量电流I。当KH和B恒定时, I愈大,UH愈大。同样，当KH和I恒定时，B愈大,UH也愈大。当磁场改变方向时，UH也改变方向。 霍尔元件型号命名方法如图3.109所示。 （2）霍尔元件的材料及结构 霍尔元件的结构很简单，它由霍尔片、引线和壳体三部分构成（如图3.110所示）。霍尔片是一块矩形半导体薄片，在它的四个端面引出四根引线，其中引线1和3为激励电压或电流引线，称为激励电极。引线2和4为霍尔电势输出引线，称为霍尔电极。霍尔元件的等效电路如图3.111a所示。在电路中的霍尔元件有两种符号表示方法，如图3.111b所示。 （3）霍尔元件的技术参数 霍尔元件的主要技术参数有： 1） 输入电阻Ri 2）输出电阻Ro 3）最大激励电流IM 4）灵敏度KH 5）最大磁感应强度BM 6）不等位电势 7）霍尔电势温度系数 8）常用霍尔元件及参数 （4）霍尔元件的温度补偿和不等位电势补偿 1） 温度补偿 图3.112所示为各种不同材料的内阻与温度的关系。 图3.113所示为各种不同材料的霍尔输出电势随温度变化的情况。 为了减少由温度变化所引起的温差电势对霍尔元件输出的影响，可根据不同情况，采取一些不同的补偿方法。 恒流源补偿 利用输出回路的负载进行补偿 2）不等位电势补偿 不等位电势的产生，会使霍尔元件或传感器在使用中产生零位误差。所以在高精度测量中，都采用不等位电势补偿的方法来尽量排除它对霍尔输出的影响。 当两电极不在同一等位面上时（如r1r2），则电桥失去平衡，U0 = 0，此时就需进行补偿，其补偿电路如图3.117所示。 （5）霍尔元件的基本测量电路 图3.118中示出了霍尔元件的基本测量电路。 为了获得较大的霍尔输出，可采用输出叠加的连接方式（如图3.119所示）。 图3.119 (a)为直流供电情况，图3.119 (b)为交流供电情况 。 3.9.2 霍尔集成传感器 由霍尔元件及有关电路组成的传感器称为霍尔传感器。随着微电子技术的发展，目前霍尔传感器都已集成化，即把霍尔元件、放大器、温度补偿电路及稳压电源或恒流电源等集成在一个芯片上，由于其外形与集成电路相同，故又称霍尔集成电路。 （1）霍尔集成传感器分类 霍尔传感器的霍尔材料仍以半导体硅作为主要材料，按其输出信号的形式可分为线性型和开关型两种。 （2）线性型霍尔集成传感器 线性型霍尔集成传感器是将霍尔元件和恒流源，线性放大器等做在同一芯片上，输出电压较高，使用非常方便。 例如：UGN3501M是具有双端差动输出特性的线性霍尔器件，UGN3501M的外形、内部电路框图如图3.121 （3）开关型霍尔集成传感器 开关型霍尔集成传感器是将霍尔元件、稳压电路、放大器、施密特触发器、