电子元器件工艺导论第二章2007.ppt

§2. 薄厚膜混合集成电路(HIC) §2.1 绪论 §2.1.1 微电子技术： 定义１：将电子产品微小型化的技术 其核心产品是集成电路． 微电子：集成电路 微电子技术：制造集成电路的微加工技术 微电子学：研究这门技术的科学 定义２：微电子学就是信息电子学 电子学：研究电子运动规律的科学 电力电子学： 　 研究用于强电流和高电压的电动控制的电子的运动规律的科学． 信息电子学: 研究用于信息处理的电子的运动规律的科学. §2.1.2 集成电路(IC) IC (Integrated Circuit) －将组成电路的元器件及其连线用某种工艺制作在同一基片(衬底)上，形成具有一定电路功能的微型电路. 一．集成电路的分类 按制作工艺分: 1.半导体集成电路(基片：半导体) 即:单片集成电路(固体电路) 工艺:半导体工艺(扩散、氧化、外延等) 2. 膜集成电路(基片：玻璃、陶瓷等绝缘体) 工艺：薄膜集成电路 真空蒸镀 溅射 化学气相沉积技术 厚膜集成电路 浆料喷涂在基片上