第讲MEMS传感器精要.pptVIP

习题 什么是MEMS？ 简述微型无源无线声表面波温度传感器的工作原理并说明它的主要用途。 传感器以后发展的主要优势是什么？我们应该主要去做哪些方面的工作？ 查找资料，看看世界上最先进的MEMS加工设备是哪个国家生产的。如果我们引进这样的设备建立实验室，学习和生产的意义是什么？(从工艺方面考虑) 应如何维护MEMS加工设备的工作环境？ 2002/12总结 * MEMS(Micro Electric Mechanical System，MEMS)即为微电子-机械系统，该技术的定义是“用微电子技术和微机械技术制造的微敏感器件与微执行器的总和”， MEMS技术当前拥有广大市场的，主要还是传感器类的产品，如装于磁头上的微型器件阵列，严格控制在磁道上的运行精度(0.1?m)，使磁壁的磁道密度提高到25000行/lin(1in=0.0254m)。 美国TI公司的大屏幕彩电高分辨率(2048×1152)投影显示屏DMD，为上下两层结构，上层为768×576个铝面微动镜阵列构成，镜面可在±10o转动，一体化的微动镜与IC电路由硅基微加工技术制成，镜面受控于下层相对应的CMOS静态存贮单元，镜面的偏转可将入射激光束反射至屏幕而显示画面，存储器读写时间1?s，从而获得了新一代的高动态彩色画面质量和分辨效果。此外，微型卫星、纳米卫星、DNA反应室、外科手术微米镊对血球及DNA操作技术等均取得令人瞩目的成果。 利用MEMS 技术制作的传感器就叫做MEMS 传感器，即微传感器。 2002/12总结 * 与传统意义上的传感器相比，微传感器的体积很小，敏感元件的尺寸一般在0.1~100?m之间。然而，微传感器并不仅仅是传统传感器比例缩小的产物，在理论基础、结构工艺、设计方法等方面，都有许多自身的特殊现象和规律。 集成电路技术发展到今天，已经出现了多种微电子加工技术，用于制作各种各样的微电子器件。常见的微电子器件包括运算放大器、逻辑门电路、微处理器等。具体到测量与控制方面，微电子技术的发展直接导致了信号处理芯片复杂程度的上升及价格的下降，在实际的测控电路系统中，以微处理器为代表的数字电路芯片已经被大量采用 2002/12总结 * 微传感器所涉及的领域很广，具体的定义目前尚未形成一个统一的认识。一般来说，微传感器包括三个层次的含义： 1. 微传感器是单一的敏感元件，这类传感器的一个显著特点就是尺寸小(敏感元件的尺寸从毫米级到微米级，有的甚至达到纳米级)。在加工中，主要采用精密加工、微电子技术以及微机电系统(micro electric mechanical system，MEMS)技术，使得传感器的尺寸大大减小。 2. 微传感器是一个集成的传感器，这类传感器将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，形成集成的传感器。 3. 微传感器是微型测控系统，在这种系统中，不但包括微传感器，还包括微执行器，可以独立工作。此外还可以由多个微传感器组成传感器网络或者通过其他网络实现异地联网。 2002/12总结 * 微传感器具有一系列的优点，主要包括： 1. 体积小，重量轻。利用MEMS技术，微传感器的敏感元件尺寸大多在微米级，这使得微传感器的整个尺寸也大大缩小，微传感器封装后的尺寸大多为毫米量级，有的甚至更小。例如，压力微传感器已经可以小到放在注射针头内，送进血管测量血液流动情况；或装载到飞机或发动机叶片表面，用来测量气体的流速和压力。体积的减小也带来了重量的减轻，微传感器的重量一般都在几克到几十克之间。 2. 能耗低。绝大多数微传感器都是将非电量信号转换为电量信号，并且是无源的，也就是说工作时离不开电源。随着集成电路技术的发展，便携式测量仪器得到越来越多的应用。在很多场合，传感器及配套的测量系统都是利用电池供电的。因此传感器能耗的大小，在某种程度上决定了整个仪器系统可供连续使用的时间，而且为在某些需要采用电池供电且需要长时间工作的场合提供了可能。 3. 性能好。微传感器在几何尺寸上的微型化，在保持原有敏感特性的同时，提高了温度稳定性，不易受到外界温度干扰。敏感元件的自谐振频率提高，工作频带加宽，敏感区间变小，空间解析度提高。 4. 易于批量生产，成本低。微传感器的敏感元件一般是利用硅微加工工艺制造的，这种工艺的一个显著特点就是适合于批量生产。大批量生产使得微传感器单件的生产成本大大降低。 2002/12总结 * 2002/12总结 * 5. 便于集成化和多功能化。集成化一般包含3个含义：其一是将微传感器与后级的放大电路、运算电路、温度补偿电路等集成在一起，实现一体化；其二是将同一类的微传感器集成于同一芯片上，构成阵列式微传感器；其三是将几个微传感器集成在一起，构成一种新的