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第十一章 尺寸的检验 10.3光滑极限量规设计（GB 1957-2006） 10.2.4三坐标测量机 三坐标测量机是20世纪60年代初在国际上发展起来的一种新型计量仪器，是一种集光、机、电、计算机和自动控制等多种技术于一体的新型精密测量仪器。它可在空间相互垂直的三个坐标上进行零件和部件的尺寸、形状及相互位置的检测，例如箱体、导轨、涡轮和叶片、缸体、凸轮、齿轮、形体等空间型面的测量。此外，还可用于划线、定中心孔、光刻集成线路等，并可对连续曲面进行扫描及制备数控机床的加工程序等。由于它的通用性强、测量范围大、精度高、效率高、性能好、能与柔性制造系统相连接，已成为一类大型精密仪器，故有“测量中心”之称，并广泛用于机械制造、电子、汽车、航空航天等工业中，是精密测量发展的方向。目前，在全世界范围内已形成了相当规模的三坐标测量机的制造厂，按类型和尺寸来说约有300多个品种。国外著名的生产厂家有德国的蔡司(Zeiss)和莱茨(Leitz)、意大利的DEA、美国的布朗—夏普(Brown Sharpe)、日本的三丰(Mitutoyo)等公司。 10.2.4三坐标测量机 1. 三坐标测量机的分类 按测量精度分为高精度、中精度和低精度三类。低精度的主要是具有水平臂的三坐标划线机；中等精度及一部分低精度测量机常称为生产型坐标测量机；高精度的称为精密型或计量型，主要在计量室使用。它们划分原则是：低精度测量机的单轴最大测量不确定度大体在1×10-4L左右，而空间最大测量不确定度为(2~3)×10-4L，其中L为最大量程；中等精度的三坐标测量机，其单轴与空间最大测量不确定度分别约为1×10-5L和(2~3)×10-5L；精密型的分别小于1×10-6L和(2~3)×10-6L。 三坐标测量机按其测量范围可分为大型测量机（X轴的测量范围在2000 mm以上，主要用于汽车与飞机外壳、发动机与推进器叶片等大型零件的检测）、中型测量机（X轴的测量范围为500~2000 mm，主要用于箱体、模具类零件的测量）和小型测量机（X轴的测量范围小于500 mm，主要用于测量小型精密的模具、工具、刀具与集成线路板等）；按其自动化程度分为数字显示及打印型、带有小型计算机的测量机型、计算机数字控制(CNC)型。 10.2.4三坐标测量机 三坐标测量机的结构形式可归纳为七大类：由平板测量原理发展起来的悬臂式、桥框式和龙门式，这三类一般称为坐标测量机；由镗床发展起来的立柱式和卧镗式，这两类测量机一般称为万能测量机；由测量显微镜演变而成的仪器台式，又可称为三坐标测量仪；极坐标式，它是从极坐标原理发展起来的。 悬臂三坐标测量机的工作台开阔，运动轻便，易于装卸工件，但由于单点支撑，刚性较差。龙门式三坐标测量机精度高，刚性好，移动平稳，但立柱限制了工件的装卸，测量不方便。桥框式坐标测量机刚性好，在测量范围较大时仍能保证测量精度。 2. 三坐标测量机的结构及工作原理 三坐标测量机由主机（包括工作台、导轨、驱动系统、位置测量系统等）、测头系统、控制系统、计算机及其软件、终端设备、工作台及附件等几部分组成。 工作台一般是花岗石。导轨一般在X、Y、Z三个方向均采用气浮导轨，移动时摩擦阻力小，轻便灵活，工作平稳，精度高。位置测量系统是三坐标测量机的重要组成部分，对测量精度影响很大，一般采用自动发讯数字式连续位移系统。该系统由标尺光栅、指示光栅和光电转换器组成。当指示光栅相对标尺光栅移动时，由光栅副产生的莫尔条纹随之移动，其位移量由光电转换器转换成周期电信号，经放大整形处理成计数脉冲，送入数字显示器或计算机中。 测量头是三坐标测量机的关键部件，对测量机的功能、精度和效率影响很大。测量头按测量方法不同，可以分为接触式和非接触式；按结构不同可分为机械式、光学式和电气式。接触式测量头在测量时用测量头的下端与工件直接接触。非接触式测量头多为光学式或电气式，测量时没有测量力，故可对软材料和易变形材料进行精确测量。测量头在测杆上一般可以沿前、后、左、右和下五个方向安装。也可以同时安装几个测头，以便同时进行各个面的测量。如测量复杂曲面，测量头还可以在水平或垂直面内旋转。 10.2.4三坐标测量机 10.2.4三坐标测量机 最常用的测量头是电气式测量头，电气式测量头分为两类：①点位测量电子测头。②连续扫描测量电子测头。点位测量电子测头工作时，测头接触工件后，发出采样信号，多头电子测头由5个三向过零发讯的电子测头分别装在测头主体的前、后、左、右、下五个位置上。因为是由不同形状和不同长度的测头组成，所以可以在不更换测头和不改变测头状态的情况下，一次完成所有方向上的测量。连续扫描测量电子测头工作时，测头不离开工件。如多向连续扫描电子测头可以在通过测头中心