AXL-8自动硅片上下料装置技术文档.docVIP

报价单 致：青海锦国兴新能科技有限公司 下列报价为人民币含税价： 序号 名称 规格 单价 备注 1 5道上料装置 AQSL-5 22万元 2 5道下料装置 AQXL-5 26万元 无锡市帕普勒自动化科技有限公司 ASL-5自动硅片下料装置技术协议 1. 设备简介 1.1 设备名称：自动硅片下料装置 1.2 型号: AXL-5 1.3 设备用途：将5道在线制绒或刻蚀设备中的硅片装入用户指 定的篮具中。整个过程只需定期把篮具放置于自动换篮组件上，大 大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人 为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观的 经济效益。 2.主要技术参数 设备名称 自动硅片下料装置 型号规格 AXL-5 工位数量 在线制绒设备为5 道清洗滚轮设计 电源 AC380V/50 Hz（自带T3-16A电源插头） 整机功率 4 KW （自带漏电保护） 适用硅片规格 156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm) 链接制绒设备跑道 链接5跑道，在线制绒设备 装片速度 ≈3200Pcs/h 压缩空气 压力： ≥0.5Mpa 压缩空气接口 PU10管 快速接口 碎片率 ≤1/2000 Pcs （不含本身隐裂、应力等缺缺陷片） 控制系统 国际品牌 微电脑控制模块、交流伺服数码驱动器 执行系统 国际品牌 数位伺服电机，精密机械传动结构 控制显示器 人机交互彩色液晶触摸屏 外形尺寸 D×W×H 3200×2000×1450 其他 定制机型 报价 3.电气控制系统 PLC 控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直 接设置和操作，人机界面有程序过程控制、故障报警、安全保护等功 能。 4.设备结构及原理 4.1 下料设备局部示意图及工作流程 4.1.1 下料流程示意图（■代表硅片） 4.1.2 设备主要工作流程 ● 硅片由在线设备纵向传送皮带传送，纵向传送皮带分为两段， 前段为恒速皮带； ● 纵向传送皮带后段将硅片加速传送至横向传送皮带上方； ● 5 组纵向传送皮带在在气缸整体驱动下下降，将硅片平稳过渡 到横向传送皮带上； ● 横向传送皮带为5段，由微电脑智能判断分别向左和右传送， 横向传送皮带由外向内依次启动； ● 正常状况下硅片经过缓存、装片的皮带传送结构直接装入篮具，篮具的升降由伺服电机实现； ● 空篮具放在左右两侧自动换篮组件上层的入口； ● 同步带传送机构将篮具传送至篮具传送升降机构，篮具传送机构下降将篮具传送至装片区； ● 篮具装满后由同步带传送至自动换篮组件下层的出口； ● 篮具更换时硅片存入缓存结构的暂存盒内； ● 整个过程只需要把篮具放置于自动换篮组件上，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可 观的经济效益。 4.1.3 主要结构 ●纵向传送机构： 由两段传送带组成，恒速段传送皮带的带速与在线设备匹 配，硅片脱离恒速段后加速，拉开与下一组片之间的间距。硅片 到达横向传送皮带上方后升降气缸带动皮带向下运动，将硅片平 稳过渡到横向传送皮带上。 ● 装片结构： 装片传送结构的传送带在气缸驱动下可伸入篮具，硅片进入 篮具时有导向进行校正； 篮具提升机构采用伺服电机精确控制运动； ●自动换篮组件： 自动换篮组件分为上下两层，由同步带实现传送。空篮具放 在上层入口，满篮具由篮传送至下层出口。 4.1.4纵向传输机构 ● 传送装置: 传送装置选取对硅片无损伤和无污染的进口皮 带； ●传送升降结构：采用气缸带动皮带下降，把到位的硅片从纵 向传送改为横向传送，平稳的进行过渡。 4.1.5 装片结构与自动换篮组件 ●空篮具放在自动换篮组件的放盒位置； ●同步带将空篮具传送至篮具传送升降机构，升降机构下降并将篮具传送至装片位置； ●装片传送结构的传送皮带伸入篮具装片； ●篮具装满后由同步带传送至出盒位置； 5.设备环境要求 5.1 电源： 380V 三相五线10A 50Hz 5.2 压缩空气：（0.5～0.7）MPa 8mm 气管接口 6.附件 6.1 提供使用说明书和产品合格证等资料。 6.2 使用说明书中含操作规程、原理图、接线图和气路图。 7.其它承诺 7.1 安装：我方向现场施工人员提供关于设备安装所需的所有细 节，以便用户准备现场，为设备安装做准备。我方负责设备安装调 试，用户提供协助。 7.2 培训:在安装期间，我方在现场为需方操作人员提供培训。培 训应包括正