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武汉理工大学资环学院 管俊芳 第三部分 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 1 仪器构型（1） 1 仪器构型（2） 1 仪器构型（3） 2 成像（1） 2 成像（2） 2 成像（3） 2 成像（4） 2 成像（4） 第三章 电子束与物质之间的作用 1 概述（1） 1 概述（2） 1 概述（3） 2 二次电子 (Secondary Electron）(1) 2 二次电子 (Secondary Electron）(2) 2 二次电子 (Secondary Electron）(3) 2 二次电子 (Secondary Electron）(4) 3 背散射电子 （Back－scattered Electron）(1) 3 背散射电子 （Back－scattered Electron）(2) 3 背散射电子 （Back－scattered Electron）(3) 3 背散射电子 （Back－scattered Electron）(4) 二次电子与背散射电子能量比较 4 透射电子 （Transmitted Electron） 5 吸收电子 （Absorption Electron） 6 X 射线 （X ray） （1） 6 X 射线 （X ray） （2） 7 俄歇电子 （Auger Electron） （1） 7 俄歇电子 （Auger Electron）（2） 7 俄歇电子 （Auger Electron）（3） 7 俄歇电子 （Auger Electron）（4） 8 阴极发光 （Cathodo－luminescence） 各种信号产生的深度及空间分辨率 测 验 电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用 Auger电子的平均自由程很小（1nm左右），而在较深区域产生的俄歇电子，在向表面运动时，必然会因碰撞而损失能量，使之失去了具有特征能量的特点。而只有表面1nm左右范围内逸出的俄歇电子才具有分析意义。因此俄歇电子特别适合表面层的成分分析。 电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用 一些不导电的样品，在高能电子的作用下，可发射出可见光信号，称之为阴极荧光。 它是由这些物质的价电子，在受激态和基态之间能级跃迁直接释放的波长比较长、能量比较低的光波，波长在可见光范围内。 主要用于物质的阴极荧光特点分析，如分析物质晶体的成长过程等。 * * 电子显微分析 1 仪器构型 2 成像 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 Electron microscopes use something similar to a light bulb to produce electrons. This is called the filament. The filament is a piece of wire and when electricity goes through it, not only is light given off, but also electrons. These electrons are focused by a series of magnets. The magnets are made magnetic by electricity and are called electromagnets. The electrons can be focused on the sample and when they hit the sample a signal is given off. 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 A special type of detector acts like a TV camera and the image of the sample is displayed on a TV screen. By changing how the electrons are bent and how the beam of electrons strikes the sample, you can change the magnification and focus of the TV image. 电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 The meaning of “SC