太阳能电池125单晶工艺原理及异常处理.docVIP

制绒： 硅片型号：125*125 工艺目的：祛除机械损伤层，形成金字塔状绒面结构，减少光的反射。 工艺原理：利用硅的各向异性腐蚀，在不同的晶向上的腐蚀速度不一致，100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率的比值R100：R111在一定的弱碱溶液中可以达到500。 主反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2 工艺过程：装片-上料-超声波清洗机-下料-上料-制绒-水-甩干-出料 上料：每筐12盒*25片 制绒设备的槽体说明： 槽号 1号 2号 3号 4号 5号 6号 7号 8号 9号 10号 11号 12号 13号 14号 槽体名称 水去损伤层槽 水槽 制绒槽 制绒槽 制绒槽 制绒槽 漂洗槽 漂洗槽 HF槽 漂洗槽 HCL+HF槽 漂洗槽 漂洗槽 脱水槽 温度 80-85℃ 25℃ 80±2℃ 80±2℃ 80±2℃ 80±2℃ 25℃ 25℃ 25℃ 25℃ 25℃ 25℃ 25℃ 85℃ 时间 100-300秒 240秒 1000-1800 秒 1000-1800 秒 1000-1800 秒 1000-1800 秒 240秒 240秒 300秒 240秒 300秒 300秒 300秒 20秒 槽体体积 231 195 229 229 229 229 155 175 200 175 200 175 175 157 加纯水 150 160 150 150 150 150 150 160 138 160 88 160 160 150 配液 NAOH 3-4瓶(1500-2000G) — 3瓶(1500G) 3瓶(1500G) 3瓶(1500G) 3瓶(1500G) — — — — — — — — 异丙醇 5-6瓶(20-24L) — 9L 9L 9L 9L — — — — — — — — 硅酸钠 — — 4-6瓶(2000-3000G) 4-6瓶(2000-3000G) 4-6瓶(2000-3000G) 4-6瓶(2000-3000G) — — — — — — — — HF — — — — — — — — 32L — 16L — — — HCL — — — — — — — — — — 56L — — — 添加 NAOH — — 1/3NAOH和0.5L异丙醇 1/3NAOH和0.5L异丙醇 1/3NAOH和0.5L异丙醇 1/3NAOH和0.5L异丙醇 — — — — — — — — 异丙醇 — — — — — — — — — — — — — — 硅酸钠 — — — — — — — — — — — — — — HF — — — — — — — — — — — — — — HCL — — — — — — — — — — — — — — 压缩空气 0.4-0.6MPA 备注信息： 1，NAOH每瓶是500G，硅酸钠每瓶500G；异丙醇每桶是4L。 2，去损伤槽比例： 水：NAOH：异丙醇 1L:10G:0.14L 2，配液比例： 水：NAOH：异丙醇：硅酸钠 1L:10G:0.06L:13.3G 水：HF 1L:4.3L 水：HF：HCL 1L:0.2L:0.64L 单片减簿量参考0.35-0.45g 制绒后硅片表面反射率：14%左右 绒面大小：金字塔尺度为3-10微米 正常情况下单条生产线化学品用量计算： 产量： 计算基准： 制绒配液 制绒添加 用量： 化学品厂家，每瓶大小等 尚德的制绒槽是120升水 尚德新一轮的培训马上开始了，要搞到培训资料。 常见异常情况： 工艺卫生基本点： 保证装片操作台面的清洁； 装片时戴好一次性薄膜手套和田罩，保证遮住口鼻； 一次性清膜手套每100片更换一次，若有脏污需提前更换，确保不污染硅片以至于影响制绒效果； 保证超声槽，水槽以及浓度梯度槽以及各附槽等的洁净状态，及时更换； 工艺过程中看片必须戴干净的乳胶手套，减少手指印的发生，看完后及时更换手套； 工艺结束后片子及时投入清洗，或放入水槽待投。 扩散： 设备：中国电子科技集团公司第48所扩散炉 硅片型号：125*125S 工艺目的：形成P-N结 主反应方程式： POCL3在高温下(600℃)分解成五氯化磷(PCL5)和五氧化二磷(P2O5) 5POCL3 = 3PCL5 + P2O5 在存在O2的状态下PCL5会进一步分解成P2O5并放出氯气（CL2） 4PCL5 + 5O2 = 2P2O5 + 10CL2 故在有O2的存在时，POCL3热分解的总反应式为： 4POCL3 + 3O2 = 2P2O5 + 6CL2 P2O5在扩散