精密机床部件资料.ppt

* 实现精密加工的技术支撑 主轴回转精度（液体 静压、空气静压轴承） 导轨运动精度（滚动 导轨、液气静压导轨） 微量进给机构 （弹性变形电致伸缩式） CNC伺服系统等 超精密加工机理 超精密加工机床 超精密加工工具 稳定的加工环境 高质的工件材料 精密测量与误差补偿 三、超精密加工机床及关键部件 一、精密主轴部件 机床的关键部件之一，要求回转精度极高， 运动平稳，无振动，关键在于精密轴承 1. 液体静压轴承主轴 油液6～10个大气压， 使轴在轴套内悬浮， 液体摩擦。主轴中心 位置由两对面液体压 力差维持。 特点： 转动平稳，刚度较高 液体粘度大，温升高， 产生热变形。止推轴 承两止推面做在轴的 同一端；控制油温 空气粘度小，温升小，造成的热变形误差很小， 刚度较低，承受的负荷较小，用于超精密机床 （1）圆柱径向轴承和端面止推空气静压轴承 2.空气静压轴承主轴 既是径向又是止推轴承，气浮面为球面，有自 动调心作用，提高前后同心度，提高回转精度 （2）双半球空气静压轴承主轴 球形轴承同时起径向和止推轴承作用，自动调心 提高前后轴承的同心度，提高主轴回转精度。 (３)前端球形后端圆柱径向空气轴承 大型超精密车床，常采用立式空气轴承主轴， 径向轴承制成圆弧面，可自动调心提高回转精度 (4)立式空气轴承主轴 电动机通过柔性联轴器驱动主轴 电机主轴同轴线上，结构紧凑，电机精动平衡 电动机通过带传动驱动 直流或交流变频电机无级调速，不用齿轮调速， 电机带轮精动平衡隔振，柔性联轴器连接主轴 3. 主轴的驱动方式 内装式同轴电机驱动主轴 无刷直流电机无级变速，消除电刷的摩擦振动。 各部件须经过精密动平衡；通气或水冷却降温 （2）不易生锈腐蚀 （1）不易磨损 4. 主轴和轴承的材料 （4）材料的稳定性要好 （3）热膨胀系数要小 实际制造中使用的材料有： 38CrMoAl氮化钢、不锈钢、多孔石墨和轴承钢 试验研究中使用的材料有： 铟钢、花岗岩、微晶玻璃、陶瓷 1. 机床总体布局 二、 床身和精密导轨部件 (1)主轴箱位置 固定，刀架 装在十字形 滑板上 两滑台运动 影响，加工 难度较大。 机床总体布局 (2)T形布局（中小型） 后两种方式 驱动主轴， 主轴箱可移 动。纵、横 导轨做在床 身上成T形 布局精度高 机床总体布局 (3)R－θ布局（极坐标型、杜邦3号） 刀架溜板装在回转工作台上，改变刀座导轨 转角θ和半径R，可加工非球曲面。机床结 构及调整计算比较复杂。 (4)立式结构布局（大型机床） 工件直径大重量较重时，多用此结构。要求 有高的刚度，多用龙门形式，刀架在十字滑 板上运动，采取特殊在线测量及补偿措施。 2.常用导轨部件 超精机床导轨要求有极高的直线运动精度，偶 合面无摩擦磨损无爬行，一般摩擦接触较少用。 导轨偶合面接触形式：导轨表面有耐磨塑 料层、导轨接触面强迫润滑、滚动导轨、液体 静压导轨、空气静压导轨、气浮导轨等。 导轨的结构形式：燕尾型、平面型、V—平 面型、双V形等。 （１）滚动导轨 滚柱直线滚动轴承 滚柱带保持架在导轨面间滚动， 轴承长度根据工作行程长度决 定，过去长期使用形式。 滚动导轨 再循环滚动组件（滚柱、滚珠） 工作行程长度不受限制 滚动导轨 再循环滚珠滚动组件 （2）液体静压导轨 刚度高，承载力大，运动精度高平稳 无爬行现象。 （3）空气静压导轨和气浮导轨 空气静压导轨面上下左右均受静压作用，导 轨浮在中间，无摩擦力，运动精度和刚度高。 （3）空气静压导轨和气浮导轨 气浮导轨的底平面和侧面有压缩空气，使运 动件浮起，用于运动件重压缩空气压力平稳 3.床身及导轨的材料 (1)优质耐磨铸铁（传统材料） 工艺性好，耐磨性好，热膨胀系数小，振动 衰减能力强。缺点是抗蚀力弱，易生锈。 (2)花岗岩（首选材料） 尺寸稳定性、热膨胀系数、振动衰减力、 耐磨性、抗腐蚀性等方面都优越。缺点是有 吸湿性，产生微量变形；加工工艺性较差。 (3)人造花岗岩（专利） 不同粒度花岗岩用树脂粘接而成，性能优良 1. 精密数控系统 三、 进给驱动系统 一般需要纵、横双坐标联动的精密数控系统， 有些要增加回转工作台，需三轴联动数控系统 系统要有很高的分辩率，达到每脉冲移动量为 0.01 μm。使用伺服电机通过双频激光测量系 统检测位移并反馈给数控系统，形成闭环控制 系统，达到很高的位移精度。 2. 滚珠丝杠副驱动 三、 进给