《中国机械工程路线图》微纳制造技术127-134.docVIP

第二节 微纳制造技术 一、概述 微纳制造技术指尺度为毫米、微米和纳米量级零件，以及由这些零件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术。微纳制造主要研究特征尺寸在微米、纳米范围的功能结构、器件与系统设计制造中的科学问题，研究内容涉及微纳器件与系统的设计、加工、测试、封装与装备等，是开展高水平微米纳米技术研究的基础，是制造微传感器、执行器、微结构和功能微纳系统的基本手段和基础。微纳制造以批量化制造，结构尺寸跨越纳米至毫米级，包括三维和准三维可动结构加工为特征，解决尺寸跨度大、批量化制造和个性化制造交叉、平面结构和体结构共存、加工材料多种多样等问题，突出特点是通过批量制造降低生产成本，提高产品的一致性、可靠性。 微纳制造包括微制造和纳制造。微制造主要指MEMS微加工和机械微加工的制造。MEMS微加工是由微电子技术发展起来的批量微加工技术，主要有硅微加工技术和非硅微加工技术，包括硅干法深刻蚀技术、硅表面微加工技术、硅湿法各向异性刻蚀技术、键合技术、LIGA技术、UV-LIGA技术及其封装技术等。MEMS加工材料以硅、金属和塑料等材料的二维或者准三维加工为主。其特点是以微电子及其相关技术为核心技术，批量制造，易于与电子电路集成。机械微加工是指采用机械加工、特种加工技术、成型技术等传统加工技术形成的微加工技术，加工材料不受限制，可加工真三维曲面。其微加工工艺包括：微细磨削、微