B扫描电镜的基本原理与应用解读.pptVIP

日立S-3000N钨灯丝扫描电镜原理与应用 内 容 提 要 一、扫描电镜的分类简介 二、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 三、日立S-3000N扫描电镜的操作基础 四、日立S-3000N扫描电镜的参数条件设定 1、扫描电镜的分类简介 1、扫描电镜的分类简介 1、扫描电镜的分类简介 1、扫描电子显微镜SEM—台式电镜 1、扫描电子显微镜SEM—台式电镜 1、扫描电子显微镜SEM—钨灯丝扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—钨灯丝扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—钨灯丝扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—钨灯丝扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 1、扫描电子显微镜SEM—场发射扫描电镜 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 2、日立S-3000N扫描电镜的基本原理 P. * P. * 电镜应用工程师 程路 2011年4月26日 光学显微镜和电子显微镜的区别 各种显微镜的比较 电子显微镜的分类 电子显微镜 扫描电镜SEM 扫描透射电镜STEM 透射电镜TEM 台式电镜 钨灯丝扫描电镜 场发射扫描电镜 120KV 200KV 300KV 超高压透射 冷场发射扫描电镜 热场发射扫描电镜 台式电镜的特点 1、2005日立公司开创性的推出了外观小巧的台式扫描电镜。 2、操作维护简便，配置低真空模式可直接观察不导电样品。 3、比光学显微镜获得更好的大景深图像。 4、放大倍数最大倍率可到3万倍。 台式扫描电镜直接观察不导电样品 样品：红薯 倍率：X800 没有喷镀 日立 SU-1510 日立 S-3400N 日立 TM-3000 日立 S-3700N 直径300mm 高度110mm 直径200mm 高度 80mm 直径150mm 高度 60mm 直径 70mm 高度 50mm 日立 S-3000N 电子枪 样品仓 物镜可动光阑 显示器 轨迹球 旋钮板 Cu粉 X1500 @15KV Cu粉 X20000 @15KV 二次电子信号形貌细节表现好，适合观察表面形貌。通常钨灯丝扫描电镜的分辨率在30KV的加速电压下二次电子信号为3nm,而背散射电子信号为4nm。 钨灯丝扫描电镜相比场发射扫描电镜分辨率较低，但对电子枪真空度要求不高，可以装配成超大样品仓满足特殊观察需要。 ZrO/W(100) 　加速电源 　引出电源 加热电源 第一阳极 　第二阳极 抑制屏蔽 闪烁电源 W(310)钨单晶发射体 第一阳极 　　第二阳极 引出电源 加速电源 场发射扫描电镜是采用场效应原理发射电子束，根据灯丝是否需要加热的区别，分为热场发射和冷场发射两种，它们的灯丝材质和工作原理有所不同。 需要FLASH 无需FLASH 束流稳定性 5nm以下 15 – 30nm 电子源大小 冷场发射 FE 肖特基 FE 0.2eV以下 0.8eV以下 能量范围 2x109 A/cm2sr 5x108 A/cm2sr 辉度 2 年以上 1.5年左右 灯丝寿命 2nA左右 20nA以上 探针电流 室温 1800Ｋ 阴极温度 针对高分辨观察 针对分析 热场发射扫描电镜的优势在于灯丝发射束流值大且束流稳定度高，更适合于金属、无机材料类等的元素和结构分析应用；而冷场发射扫描电镜的极限分辨率更高，适合于高分辨率观察，特别在非导电样品的低加速电压高分辨观察中有明显优势。 热场发射扫描电镜的扩展功能丰富，可以接EDX/WDX/EDSD/CL等分析附件，另外样品仓可以设置为低真空模式。 方位面分布（ND） Image Qulity(IQ) 样品：树脂里的Cu布线 加速电压：２０ｋV　　　真空度：20Pa 热场发射扫描电镜的EDSD（电子背散射衍射仪）分析结果，可以获得材料的晶粒取向信息。 冷场发射扫描电镜的电子束色差小，亮度高，因此能够获得更高的分辨率图像，在低加速电压条件下的分辨率优势更加明显，目前世界上商业化扫描电镜分辨率最高能达到0.4nm。 样品 加速电压 放大倍率 : 白金蒸着粒子 : 30kV : 80万倍（0.4nm） 高端冷场发射扫描电镜在低加速电压条件下也可以获得高分辨率图像