仪器SEMTEM讲义.pptVIP

扫描电子显微镜（SEM） Transmittance Electron Microscopy 透射电子显微镜（TEM） Scanning Electron Microscopy 扫描电子显微镜 1. 引言 2. 电子与固体试样的交互作用 3. 扫描电镜结构原理 4. 扫描电镜的主要性能 5. 扫描电子显微镜的几种电子像分析 （一）表面形貌衬度原理及应用 （二）原子序数衬度原理及应用 1. 引 言 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。 样品本身要保持电平衡，这些电子信号必须满足： ip=ib+is+ia+it  式中：ip 是入射电子强度