第四章力敏传感器分析报告.pptVIP

4.4.2 差动变压器式传感器 图 4?38差动分变压器式压力传感器 4.5 谐振式压力传感器 4.6.1. 工作原理和特性 谐振式压力传感器的工作原理 为振子材料的刚度； 为振子的等效振动质量 图 4?39谐振式传感器的组成 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 图 4?40振子的基本类型 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 1. 振弦式谐振压力传感器特性 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 单根振弦测压力时的灵敏度为 图 4?41差动式振弦传感器原理 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 振膜式谐振传感器特性 式中： 分别为与膜片尺寸、材料有关的常数； 分别为膜片的半径、厚度、泊松比。 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 令 ,将公式（4-54）两边平方之后整理得 忽略高次项后的线性输入输出关系如下 4.6.2 谐振式压力传感器的特性 图 4?42振膜压力传感器输入输出特性 4.6.3 谐振式压力传感器的类型 1. 振弦式压力传感器 图 4?43振弦式压力传感器 4.6.3 谐振式压力传感器的类型 2. 振膜式压力传感器应用 图 4?44振膜式压力传感器 4.6.3 谐振式压力传感器的类型 3. 振筒式压力传感器 图 4?45振筒式压力传感器原理结构 4.6.3 谐振式压力传感器的类型 石英音叉谐振传感器 图 4?46音叉谐振器 4.6 光纤力学传感器 4.6.1. 光纤压力传感器的分类 光纤压力传感器主要有强度调制型、相位调制型和偏振调制型三类。 ① 强度调制型光纤压力传感器大多是基于弹性元件受压变形，将压力信号转换成位移 信号来检侧，故常用于位移的光纤检测技术； ② 相位调制型光纤压力传感器则是利用光纤本身作为敏感元件； ③ 偏振调制型光纤压力传感器主要是利用晶体的光弹性效应。 4.6.2 光纤压力传感器的应用 1，采用弹性元件的光纤压力传感器 2，光纤微弯传感器 图 4?47 图 4?48光纤微弯传感器示意图 4.6.2 光纤压力传感器的应用 3，光弹性式光纤压力传感器 (a）检侧原理 （b）传感器结构 图 4?49光弹性式光纤压力传感器结构 4.6.2 光纤压力传感器的应用 1、光纤；2、起偏器；3、光弹性元件； 4、1/4波长板；5、偏振分光镜；6、反射位 图 4?50光弹性式光纤压力传感器的另一种结构 4.7 压电涂层压力传感器 一、压电涂层传感器 图 4?51压电涂层传感器 4.7 压电涂层压力传感器 二、压电涂层传感器的性能 压电效率 由于它是一种压电混合物，所以压电效率就成为涂层传感器的主要技术指标，压电效率是指结构产生单位应变所能感应出的电荷多少。该性能指标与压电涂层组成成分、压电涂层厚度，极化电场强度以及极化时间密切相关。、 阈值体积 一般地令其所占有体积大于某个阀值，当填料组份小于该阀值 4.7 压电涂层压力传感器 图 4?52涂层厚度对压电效率的影响 4.8 力敏Z-元件及触觉传感器 一、力敏 元件的伏安特性 图 4?53力敏Z-元件的伏安特性 4.8 力敏Z-元件及触觉传感器 图 4?54触觉传感器结构示意图 4.9 陶瓷压阻式压力传感器 一、压阻效应 半导体材料受到外力作用时，电阻的变化主要是由电阻率发生变化而引起的，半导体几何尺寸变化引起的电阻变化可以忽略不计。 4.9 陶瓷压阻式压力传感器 二、陶瓷压阻式压力传感器 图 4?55膜片上的厚膜电阻 图 4?56厚膜电阻式压力传感器侧面图 4.1.5 电阻应变式传感器应用 1，应变式力传感器 2，应变式压力传感器 3，应变式加速度传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ① 柱（筒）式力传感器 图 4?12柱（筒）式力传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 电桥的输出电压为 从而得到被测力F为 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ② 环式力传感器 （a） 环式弹性原件 （b）应力分布曲线 图 4?13环式力传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 悬臂梁式力传感器是一种结构简单、高精度、应变片容易黏贴、抗偏、抗侧性能优越的称重测力传感器。最小可以测几十克，最大可以测几十吨的质量，精度可达到0.02%FS。 悬臂梁有两种：一种为等截面梁，另一种为等强度梁 4.1.5 电阻应变式传感器应用 （a）等截面梁 （b）等强度梁 图 4?14悬臂梁 4.1.5 电阻应变式传感器应用 应变式压力传感器 图 4?15筒式压力传感器 圆筒外表面沿圆周方向产生的环向应变为 对于薄壁圆筒，环向应变为 4.1.5 电阻应变式传感器应用 应变式加速度传感器 图 4?16应变式加速度传感器 当被