第4章+电容式传感器解析：.pptVIP

第4章???????电容式传感器 4.4 应用举例 结构：球型、平面型差动电容传感器 电容传感器盒膜片结构 凸玻璃圆片 弹性膜片(动电极) 固定电极 P P 弹性膜片(动电极) 固定电极 4.4.1 电容式压力传感器 第4章???????电容式传感器 电容式压力传感器 球型结构： 金属弹性膜片—动片（测量膜）；两个玻璃球面上镀有金属—定片；膜片左右两侧充满硅油。 工作过程： 两室分别承受低压PL和高压PH，硅油能将压差传递到测量膜片。 电容传感器盒膜片结构 第4章???????电容式传感器 电容式压力传感器 当PH = PL时C1 = C2；膜片处于中间位置， 当有差压作用时，测量膜片产生形变： PH PL时，膜片向PL弯曲，C1 C2， PH PL时，膜片向PH弯曲，C1 C2； 前级电路将这种电容变化通过电路转换， 变为电压或电流的变化 电容式压力传感器 第4章??????? 电容式传感器 工业生产自动控制中，膜片式压力计是最常用的一种，电容膜片压力传感器分为： 计示压力计（表压），绝对压力计，压差计。 计示压力计（表压） 以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力 计 示 压 力 计 （表压） 电容式压力传感器 第4章??????? 电容式传感器 绝对压力计 以绝对真空为基准，测量蒸发罐、反应罐中的压力； 压差计 测两个压力的差值 绝对压力计 4.4.2 电容测厚仪 第4章??????? 电容式传感器 电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化 带材是电容的动极板，总电容 C1+C2 作为桥臂。 带材只是上下波动时 Cx = C1+C2 总的电容量不变； 带材的厚度变化使电容 Cx 变化。 采用变压器式输出电桥电路。 或用集成运放电路输出与带材厚度关系为： 电容板材在线测厚仪 第4章??????? 电容式传感器 4.4.3 电容传感器称重、测振动位移、加速度 第4章??????? 电容式传感器 电容式称重传感器 F 绝缘材料 定极板 动极板 极板支架 弹性体 在弹性钢体上，高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容极板间隙变小，其电容相应增大。 由于在电路上各电容是并联的，因而输出反映的结果是平均作用力的变化，测量误差大大减小。 配接调频式电路，就会引起振荡器的振荡频率变化，频率信号经计数、编码，传输到显示部分。 称重 第4章??????? 电容式传感器 测振动位移 第4章??????? 电容式传感器 弹簧片 定极板2 质量块（动极板） 定极板1 绝缘体 a C1 C2 m 两个固定极板间有一个用弹簧片支撑的质量块m，质量块的两端面经抛光后作为动极板； 当传感器测量竖直方向的振动时，由于m的惯性作用，使其相对固定电极产生位移； 两个差动电容器C1和C2的电容发生相应的变化，其中一个变大，另一个变小。 测加速度 4.4.3 力平衡式加速度传感器 第4章??????? 电容式传感器 力平衡式传感器系统是先将被测量转换成力或力矩,然后用反馈力与它平衡，可测加速度、角速度、压力变量等。 闭环反馈式传感器原理图 目前力平衡式传感器系统主要应用于超低频、低加速度测量，是惯性导航系统中不可缺少的关键元件。 力平衡式加速度传感器 第4章??????? 电容式传感器 力平衡式加速度传感器结构：M 惯性元件、C1、C2位移传感器、磁力矩器、电容动片固定在质量块上。 力矩器的反馈力产生与加速度有关的电流电压 惯性力 β-力矩器的机电偶合系数 工作原理：壳体加速度 当Fx（惯性力） = Fβ（反馈力）时， 位移 y = 0。 电容的差值可反映位移的大小。 力平衡式传感器属惯性系统，是典型的二阶机械系统，固有频率ω和阻尼比ξ决定于惯性元件的阻尼系数和弹性系数，惯性元件的传递函数为： 4.4.4 电容传声器原理 第4章??????? 电容式传感器 PC机上的麦克风是一个电容传声器（Microphone）即话筒，音译作麦克风，由振动膜片、钢性极板、电源和负载组成。 当膜片受到声波的压力，并随着压力的大小和频率的不同而振动时，膜片极板之间的电容量就发生变化。 与此同时极板上的电荷随之变化，从而使电路中的电流也相应变化，负载电阻上也就有相应的电压输出，完成声电转换。 第4章??????? 电容式传感器 计算机中一般使用的是驻极体电容传声器，工作原理和电容传声器相同，它采用一种聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊电处理后表面被永久地驻有极化电荷，从而取代了电容传声器的极板，故名为驻极体电容传声器。 驻极体 电容传声器