南亚插片机卡片指导书--试行教案分析.doc

目的 1.1新员工快速入手维修名谷插片机卡片，。 1.2规范维修操作流程-卡片疑难问题解决及花篮工装的组装定位.滑台的定位 1.3降低维修时间长的问题 1.4减少因卡片维修不到位导致的崩边 使用范围 2.1 本文规定了名谷插片机工装定位作业指导书，。 2.2 本文适用于维护该设备的检修人员。 职责 3.1 由设备人员制定本文件，如需要修改，由设备部人员提出本文件的修改申请。 3.2 设备人员必须严格按照本文件的规定进行操作。 3.3 设备部负责按照本文件要求对设备进行检查、监督。 工具和材料 4.1 工具 4.1.1 13#-14#开口扳手 。一套内六角，工装及铁板（缺角硅片最佳-不能再利用硅片），钢尺，垫片（0.5mm厚，长*宽-6*1mm…1mm的铜芯电源线压扁即可） 作业流程图 一问，（问生产员工现场情况）二看（看硅片卡坏的地方），三分析（分析造成原因）四动手（开始维修） 作业指导 序号 流程 图片 动作描述 关键点解释 6.1 工具准备 6.1.1 工具准备（如左图） 13#-14#开口扳手 。一套内六角，工装铁板（缺角硅片），钢尺，垫片（0.5mm厚，长*宽-6*1mm…1mm的铜芯电源线压扁即可） 6.1.2 如左图，此硅片不可切割125*125硅片，可用来调试设备使用 6.1.3 垫片（0.5mm厚，长*宽-6*1mm…1mm的铜芯电源线压扁即可） 6.1.4 名谷插片机的整体花篮工装 工具使用过程保证清洁整齐（禁止有油性物体接触） 备注;清洗区域的设备，水槽内部禁止有油性物体接触 7.1 工装各部件功能介绍及螺丝的作用 7.1.1 左图，红圈处的螺丝为花篮左右两边挡板的固定螺丝，，使用扳手为13#或14#开口扳 7.1.2 左图为花篮工装固定螺丝，工装固定在机台支架上 工具为6#内六角 作用 此螺丝松掉后可以调节花篮与滑台的水平位置， 8.1 9.1 控制及参数界面介绍 滑台定位 7.1.3 插片机滑台 左图为硅片经过滑台进入花篮里面 螺丝紧固处的白色滑条，是用来给硅片起导向作用，引导硅片进入花篮时使用 ， 主屏幕界面 开机选择班组输入用户密码6666进入主画面 选择参数画面输入密码666666进入参数画面 参数界面， 片25张距离：各花篮25片之间的距离 间隔一距离1：调节中间花篮的上升距离，数值增大花篮上升，相反减少 间隔二距离2：调节第三花篮的上升距离，数值增大花篮上升，相反减少 7.1.5 原点偏移量：用来定位第一张硅片，范围在7.5-8.5 上行：设备正常使用时，硅片在花篮内损坏时按下急停，再按上行工装会一直上升，直到松开后工装停止 下行：设备正常使用时，花篮内的碎片取出后按一下下行按钮，工装会降到当时上升前的位置 （配合上行使用） 急停：设备正常使用时，按一下急停按钮，工装会停止下降， 红圈处为工装固定螺孔，用6#内六角和螺丝将工装底板安装在机台支架上， 安装后螺丝不要拧紧，目的是为了方便调节工装底盘与滑台的水平位置 将花篮放在没有固定的工装上面 花篮紧贴在工装内部红圈的挡板上面，备注 挡板与花篮链接处应无缝隙 备注：了解工装的定位，花篮位置的安装以及滑台位置的安装定位是学会维修卡片的最快方式 9.2 滑台的安装  左将放好花篮的工位台降到底 将滑台安装在机台架子上面，先不固定 滑台左右两边的固定架上面保持整洁，已保证滑台是水平的（滑台水平便于调节工位台的位置及花篮的水平 9.3 滑台的位置定位 滑台到花篮的距离为15-20mm最佳（左右两边的距离应相等，） 距离：工装及花篮不动，调节滑台的前后位置可以调节滑台到花篮之间的距离。距离调好后紧固滑台固定在机台支架上面的螺丝 （5#内六角使用） 备注 （滑台支架上面应保持整洁干净）（连接（8.1.4） 图2 图2 滑台后底座高度距小水槽的距离为3-5mm最佳 6#内六角固定的位置松动后可以调节滑台的角度（滑台到小水槽的距离） 备注：滑台到小水槽的距离为3-5mm 滑台距花篮的距离为15-20mm 距离调节好后紧固滑台 滑台定位结束 10.1 工装底板的定位 将硅片放置在固定好的滑台上面.并检查硅片两边红圈处是否在同一水平位置（硅片两边离片盒上部应相等如右图） 工装位置如红圈中所示 备注： 滑台已固定完毕后时调节工装及花篮 左图 在确认硅片离片盒两边距离相等的时候 用6#内六角紧固工装底板的两边螺丝（先紧固上边的一个螺丝），在紧固的同时并观察片盒的位置，如果水平位置出现倾斜，及时矫正。 如左图所示 三个为定位好的花篮底板，底板螺丝一定要紧固 底板的水平好坏将直接影响花篮的安装，会造成卡片故障，调节困难 底板定位