材料化学8解析.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 其中气相外延生长是在单晶衬底上气相生长半导体外延层，是20世纪60年代以来发展起来的重要技术。 气相外延生长的温度远低于所生长材料的熔点，因此有利于获得高纯材料、具有高离解压难以从熔体中生长的材料和陡峭P-N结或异质结构材料。 生长速度典型值为每小时几到几十μm，适于生长超晶格和量子阱结构，这种广泛被用于半导体材料和固态器件的研究与生产中。 若单晶是通过气源在衬底区发生的反应，产生的固相在衬底上形成外延层，气态副产物排出反应室，这就归属于化学气相沉积技术（CVD）。 使用的化学方法一般包括： Ⅰ．氢还原反应： Ⅱ．歧化反应（自身氧化—还原反应） Ⅲ．热分解反应 Ⅳ．热分解—合成反应 实际上反应室中所发生的过程远比上述化学反应复杂。气相外延生长的运输和反应基本过程如下： a．反应剂（源）从主气流区输送到沉积区； b．反应剂在高温沉积区内发生气相反应，产生“成膜前体”(film precursor) 和副产物 c．成膜前体输运到成长表面，接着吸附到成长表面 d．成膜前体通过表面扩散到生长点 e．表面反应，生成的固相并入到生长膜中 f．表面反应产生的副产物的脱附 g．副产物输运到主气流中离开沉积区并流出反应室 因此，气相外延涉及气相运输、气相及表面反应和晶体生长的复杂过程。 习惯上气相外延方法常以起始源化合物来命名，如卤化物气相外延、金属有机物气相外延。 作为源的物质在常温下或是气态的或是具有较高蒸气压的凝聚态，其蒸气可以用载带气体输运到反应区中。 介绍讨论以GaAs为代表的化合物半导体的卤化物气相外延生长。 GaAs的氯化物气相外延生长以AsCl3为砷源，以Ga或GaAs为镓源，载气通常为H2，亦可使用N2或Ar气，镓源置于高温区（800℃），AsCl3与Ga（或GaAs）反应以产生GaCl3，同时反应生成的As4溶解于Ga中,直至在镓的表面生成完整的GaAs多晶壳层。 在生长GaAs壳后，源区的反应产物GaCl、As4、HCl等流向温度较低的生长区（650℃），在GaAs衬底上生长出外延层. ③．焰熔法生长刚玉型彩色宝石简介 这六粒翡翠戒面，从左到右显示绿色由浓至淡 星光红宝石 月光石 金绿宝石猫眼 星光蓝宝石 欧泊的变彩 珍珠光彩 亚历山大石 日光灯下呈绿色，白炽灯下红色 人工合成宝石的蓬勃兴起要追溯到18世纪中下叶至19世纪。 1837年，法国化学家马克·高丁正式从化学的角度对宝石进行研究。他使用含有重铬酸钾的明矾和硫酸钾饱和溶液进行反应，将残留物熔融得到氧化铝结晶体，开始了正式以化学方法合成宝石的历史； 1877年，法国的弗雷米和费尔又用焰熔法将Al2O3熔于PbO中，在20天内长出小片状红宝石晶体； 1885年，二人与瑞士的乌泽在红色Al2O3粉末中加入少量重铬酸钾，用氢氧火焰熔化生长出合成红宝石，并开始大量投放欧洲市场，这种合成红宝石被称为“再造红宝石”或称“日内瓦红宝石”； 1902年，法国化学家维尔纳叶在弗雷米等人的基础之上改进了焰熔技术! 水热法出现于1905年； 提拉法出现于1917年； 我国对人工晶体材料的真正研究，始于上个世纪50年代。 50年代末研究焰熔法合成刚玉类宝石和水热法合成水晶技术开始； 60年代和70年代研制成功合成金刚石、人造钇铝榴石(YAG)、人造钆镓榴石(GGG)和变色猫眼石等宝石晶体； 80－90年代，研制冷坩埚熔壳法合成立方氧化锆晶体，水热法合成祖母绿和红宝石晶体，以及制作玻璃猫眼、金星玻璃系列品种等方面获得成功； 21世纪初又成功研发了人造夜光宝石等新型的人工宝石品种。 目前市场上大量出现的，可以规模生产的，成本低廉的有以下几个系列： 刚玉系列(焰熔法)：价格在几元至几十元人民币一粒戒面。 水晶系列：价格在30-40元一串项链。 立方氧化锆(CZ)系列:锆石的, 价格和上述合成刚玉相当。 玻璃系列：很复杂，从普通玻璃到掺入钙、铅、稀土等特殊