微惯性技术第三章要点分析.ppt

微惯性技术 　　——微机械惯性仪表 中北大学 电子与计算机科学技术学院 李 杰 Tel:3921882; E_mail: Lijie@nuc.edu.cn 主要内容 一、微加速度计 1、基本概念 2、工作原理 3、分类 4、信号检测 5、设计程序 1、微加速度计基本概念 微加速度计是用检测质量块或震动探测块来测加速度的：外部加速度对质量块发生作用，然后通过测量质量块的位移、质量块对框架的作用力，或保持其位置不同所需的力来得出加速度值。 2、基本工作原理 基本物理原理： F=ma 3、微加速度计的分类 按检测质量的运动形式来分： 有角振动式和线振动式加速度计 按检测质量支承方式来分： 有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式 按控制方式来分： 有开环式和闭环式。 根据梁的个数分： 单梁结构、单端双梁结构、双端双梁结构、多梁结构 根据敏感轴数量分： 单轴、双轴、三轴 按信号检测方式来分： 压阻效应 电容效应 隧穿效应 压电效应 电感效应 谐振效应 热效应 光学效应 压阻式加速度计 特点 读出电路非常简单 压敏电阻制作难度大 温度系数大 电容式加速度计 特点 敏感器件制作简单 不受温度影响 读出电路复杂 易受寄生参数影响 非线性 隧道式微机械加速度计 由物理学可知，将尺寸很小（10-9m）的极细探针和被研究物质表面作为两个电极，当它们之间非常接近（＜1μm）时，在外电场作用下，电子会穿过这两个电极从一极流向另一极，这就是隧道效应。 实验发现，当这两极间距减少0.1nm，隧道电流将增加10倍，利用这种效应可以测量加速度。电子隧道型加速度计通常由检测质量、支承梁、隧道探针和控制电路等部分组成。 其工作原理是：当被测加速度使检测质量与隧道探针之间距离发生变化时，两极间将产生巨大的电流变化，检出这一变化信号就可测得加速度。 特点 极高的灵敏度 不受温度影响 低频噪音太大 必须闭环工作 隧道效应加速度计 谐振式加速度计 特点 直接数字输出 潜在的高精度 工作原理 谐振式加速度传感器的分辨率跟下列因素有关： （1）加速度计的加工工艺。 工艺精度越高，加工出两个谐振梁的特性更加接近，固有频率近似相等，可以大大地提高传感器输出信号的分辨率。 （2）谐振梁本身的特性有关。增大两个谐振梁刚度，提高谐振梁的固有频率，也可提高传感器的分辨率，但梁刚度大又影响到了加速度作用时梁的变形量，所以必须综合考虑梁的刚度影响。 热对流式加速度计 特点 结构和读出电路简单 响应较慢 线性工作范围小 受温度影响大 工作原理 热对流加速度计包含一个密闭的腔体， 腔体中充有流体，其中有一个加热元件把腔体中加热元件周围的流体加热，加热后的流体发生膨胀而密度下降，在重力的作用下上升，周围相对冷的流体填补到空位置上，这样反复循环而造成热对流传导。 加热元件和两个敏感元件都是悬空的 压电式加速度计 压电传感器是一种利用压电效应进行机电能量转换的变换器。广泛应用于振动、冲击的测量，是一种拾取力信号，输出电信号的能量转换部件。常和电荷或电压放大器一起组成测量电路,在电子产品检验部门的振动台及其检定中起着重要的作用。 特点 结构简单 无法测直流（常加速度） 温度系数较大 微型双轴加速度计 所谓微型双轴加速度计是能够同时测量相互正交两个轴加速度的微型仪表。 从结构组成上可分为两类： 一类是在同一硅片上实现敏感两个轴的加速度，最简单的做法可将结构完全相同的单自由度加速度计相互正交的做在同一硅片上，配以相应测量电路； 另一类是将两只单自由度加速度计封装在一起。 微型三轴加速度计 三轴硅微压阻式加速度计 微机械加速度传感器 4、微加速度计的信号检测 信号检测方式： 压阻效应 电容效应 隧穿效应 压电效应 电感效应 谐振效应 热效应 光学效应 5、微加速度计的设计程序 性能指标 检测原理 机械结构 电路 控制方式 试验测试 基本指标和测试 量程 分辨率 灵敏度 偏置（零位）稳定性 标度因数稳定性 交叉耦合 重复性 温度系数 基本设计问题——机械 质量 热运动噪声 刚度 静电力正反馈 非线性 交叉耦合 加工误差 残余应力 热稳定性 基本设计问题——电路 压阻效应 热噪声与电阻值成正比 电容效应 寄生电容 低阻放大器 高阻放大器 开关电容放大器 基本设计问题——电路 前置放大器的噪声和漂移是最主要的误差源 差动检测可有效的减小甚至消除一些误差 数字化 集成 基本设计问题——闭环控制 闭环控制的优点： 高精度 高线性度 增大动态范围 展宽频带 调节阻尼比 基本设计问题——闭环控制 详细设计、加工过程 微系统的制造技术，除包括标准的微电子工艺外，还有微系统的特殊工艺，例如表面加工工艺、体加工工艺、