微机电系统应用要点分析.ppt

微型机电系统的应用 微机电系统的应用 由于MEMS系统具有体积小、重量轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大等传统传感器无法比拟的优点，因此在军事、航空航天、汽车、生物医学以及人们的日常生活等各领域都有着十分广阔的应用前景。 世界上第一个微静电马达 微型机器人 MEMS在军事中的应用 军事领域是MEMS技术的最早领域，极大地推动了MEMS技术的发展。用MEMS技术制造的导弹精确制导、微型飞行器、雷达侦察、智能军用机器人和其他MEMS器件，在军事上的无人技术领域发挥着重要作用。 精确制导炮弹 美国FMU2159/ B 硬目标侵彻灵巧引信及加速度计 钻地弹 中国军用微型水下机器人 间谍机器人 间谍机器人 哈佛大学的研究人员开发出机器苍蝇。 它每秒振翅120次，频率几乎接近真苍蝇，快得肉眼根本无法看清，它还能在空中盘旋并沿着预先设好的路线加速飞行。机器苍蝇展示了稳定、可控的飞行性能。 间谍机器人 小型螺旋桨直升飞机 微型卫星 MEMS在汽车工业的应用 MEMS传感器具有体积小、重量轻、性能可靠等优点，因此MEMS传感器广泛应用在汽车安全气囊、汽车防抱死系统（ABS）、轮胎压力监测、防盗系统等。目前每台车40到上百个传感器，汽车智能化的发展趋势需要更多传感器，主要包括：MEMS速度传感器、 MEMS加速度传感器、MEMS压力传感器等。 安全气囊加速度计 轮胎压力监测装置 汽车防抱死系统 MEMS在生活中的应用 通过对旋转运动的感知，大多手机可以自动地改变横竖屏显示，以便消费者能够以合适的水平和垂直视角看到完整的页面或者数字图片。 微型运动传感器能够捕捉到游戏玩家任何细微的动作，并将其转化成游戏动作。模仿一场真实的网球赛、一场高尔夫球赛等。 MEMS在生物医学方面的应用 将微型机器人用口服或皮下注射法送入人体 ,就可对体内进行直接有效的监测 ，并可清除人体内的血栓、病变组织、癌细胞 等。另外微型机器人在细胞操作、精细外科、肠道内自动送药等方面应用甚广，应用潜力巨大 ,为人类解决各种医学难题提供了新的思路和手段。 智能胶囊内窥镜系统 心脏起搏器 人工耳蜗 既是隐形眼镜又可以24小时测量、监测和控制病人的眼压水平。 游走于血液的微型机器人 Thank you！ 制作日期：2014/5/28 这种机器人尽管只有4毫米大，却装有移动、通讯、收集数据所需的所有设备，它们甚至能通过太阳能电池板来产生自身活动所需的能量。 美国空军公布的昆虫大小机器人间谍，很难被人发现，可以飞进建筑执行侦察任务。 美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，全由硅片构成，直径仅15cm。 智能隐形眼镜