微机电系统与生物芯片要点分析.pptVIP

目 录 MEMS概念 MEMS技术特点 MEMS发展前景 生物芯片的起源与发展 生物芯片的种类 生物芯片的制备 生物芯片的发展前景 MEMS技术的历史 微系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展 70年代微机械压力传感器产品问世 80年代末研制出硅静电微马达 90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产 充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景 MEMS特点 微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。 批量生产：可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS 集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体， 多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 MEMS系统优势 经济利益 1.大批量的并行制造过程； 2.系统级集成； 3.封装集成； 4.与IC工艺兼容。 技术利益 1.高精度； 2.重量轻，尺寸小； 3.高效能； MEMS技术基础 MEMS的技术基础可以分为以下几个方面： （1）设计与仿真技术； （2）材料与加工技术 （3）封装与装配技术； （4）测量与测试技术； （5）集成与系统技术等。 MEMS的分类 微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等 微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等 微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等 MEMS的展望 目前，世界上几乎普遍认为MEMS及其相关技术是21世纪的关键技术之一，它的发展将对高新技术及产业产生不可估量的影响，可以预期，随着MEMS的进一步发展，世界上将会出现许多惊人的应用，比如大数据存储系统将能做到在一块芯片上存储太位 信息；手掌大小的光谱仪将使人们能方便快捷的监视环境情况；可植入人体的微型传感器能实时监测人体的血糖水平，总之，MEMS将领导一次技术革命 什么是生物芯片？(Biochips) 生物芯片（biochip或bioarray）是根据生物分子间特异相互作用的原理，将生化分析过程集成于芯片表面，从而实现对DNA、RNA、多肽、蛋白质以及其他生物成分的高通量快速检测 生物芯片的起源 生物芯片技术的发展最初得益于 埃德温·迈勒·萨瑟恩（Edwin M ellor Southern）提出的核酸杂 交理论，即标记的核酸分子能够 与被固化的与之互补配对的核酸 分子杂交。从这一角度而言，So uthern杂交可以被看作是生物芯 片的雏形。弗雷德里克·桑格（Fred Sanger）和吉尔伯特（Walter Gilbert）发明了现在广泛使用的DNA测序方法，并由此在1980年获得了诺贝尔奖。另一个诺贝尔奖获得者卡里·穆利斯（Kary Mullis）在1983年首先发明了PCR(聚合酶链式反应)，以及后来在此基础上的一系列研究使得微量的DNA可以放大，并能用实验方法进行检测。 生物芯片的发展 生物芯片技术是随着人类基因组计划的实施而发展起来的，是由美国旧金山以南的一个新兴生物公司Affymetrix(昂飞)首先发展起来的，并成为基因组计划中一种重要的技术手段。 1991年，美国Stephen Fodor等首先提出了DNA芯片的概念，Stephen Fodor及其同事于90年代初发明了一种利用光刻技术在固相支持物上光导合成多肽的方法，并在此基础上于1993年设计了一种寡核苷酸生物芯片。 生物芯片的发展 1991年，美国Stanford大学的M．Schena在研究植物转录因子时提出了将大量DNA探针集成在同体表面上米研究基因表达的方法，并在1995年用机械手在玻璃片上进行DNA点样，利用双荧光标一次检测了45个基因。 1996年，M．Schena与Stephen Fodor等合作，制造出世界上第一个商业化的生物芯片。在此之后，国际上掀起了一股生物芯片设计的热潮，出现了多种类型的生物芯片。生物芯片在产生的短短十几年时间内技术不断完善，它结合了寡核苷酸合成、固相合成、PCR、探针标记、分子杂交、大规模集成电路路制造、荧光显微探测、生物传感器及计算机控制和图像处理等多种技术，充分体现了生物技术与其他学科相结合的巨大潜力。 国外发展现状 生物芯片技术出现后立即引起国际上的广泛关注。美国政府和产业界在过去10年共投入近20亿美元用于以基因芯片为主的