微机械加速度计专题要点分析.pptVIP

模拟部分噪声 过采样 过采样系统的最大量化噪声比为： 其中， 为信号功率， 为量化噪声的功率， 为量化比特数， 为奈奎斯特采样频率， 为奈奎斯特采样倍数， 为有用信号的带宽。 量化噪声 A/D芯片采样后的量化数据误差范围在： 模数转换接口 重选 位数 采样频率 模数转换接口的噪声特性 推算出模数转换接口所引入的本底噪声在-137dBm/Hz左右 -1.2dB 调幅信号经过模数转换接口后的噪声特性 根据上两图，可以得出模数转换接口引入的噪声几乎可以忽略 进入AD前的调幅信号 经过AD后的调幅信号 调幅信号 -1.2dB 本底噪声为-128dBm/Hz； 灵敏度为180mV/g； 系统分辨率为0.7μg/√Hz。 解调后输出的加速度计系统的低频信号 由上两图可知，解调前后，系统的信噪比不变，因此，系统分辨率为0.7μg/√Hz。 解调前的调幅信号 解调后的调幅信号 25倍 15V 15V 12V 15V 1V 增益7.5 增益0.36 增益1 增益1 增益1 电压灵敏度：180mV/g 加速度计量程分档选择 -10g~10g -30g~-10g 10g~30g 电压灵敏度：90mV/g 电压灵敏度：30mV/g 大量程时的分辨率： 1.65μg/√Hz 小量程时的分辨率： 0.86μg/√Hz 提高系统稳定性的方法 采用软件或硬件的方式进行实时温度补偿 采用高精度温度控制装置对传感器进行严格温度控制 研制对温度不敏感的加速度计 传感器结构中增加特定温度系数的材料、元件以抵消温度变化引起的有关组建的材料物理参数的变化 初始检测电容及其温度系数 加速度计 C1 (pF) C1的温度系数 (ppm/℃) C1的电容变化量(fF/℃) C2 (pF) C2的温度系数 (ppm/℃) C2的电容变化量(fF/℃) 0号 5.9413 211.76 1.258 6.4774 283.53 1.8365 2号 2.8233 309.87 0.875 3.6870 90.97 0.3354 4号 6.0303 367.86 2.2183 6.2498 321.01 2.0062 加速度传感器的电容灵敏度为：120fF/g~140fF/g 加速度传感器温度系数： 实时温度补偿 加速度计系统实时温度补偿框图 传统温度信号采集电路 仪表放大器输出的温度信号的本底噪声为：-128dBm/Hz 交流检测的温度信号采集电路 由上图可知，温度采集电路的温度曲线的线性度非常好，并且，温度每改变1℃，温度信号采集电路的输出值就改变2.1e6quants。 1号加速度计系统温度补偿前后的温度特性 补偿前 补偿后 补偿前系统零偏变化：34.8mg 补偿后系统零偏变化：3.1mg 2号加速度计系统温度补偿前后的温度特性 补偿前 补偿后 补偿前系统零偏变化：30.5mg 补偿后系统零偏变化：0.92mg 2号器件连续温度变化加速度计系统的温度特性 补偿前 补偿后 补偿前系统零偏变化：30.5mg 补偿后系统零偏变化：1.2mg 高精度温度传感装置 带有温控装置的加速度计系统结构框图 数字式温度控制装置 实际值的的温控装置所控制的温度精度 温控装置内的温度波动主要在29.98℃~30.02℃之间 处理电路的温度补偿 数字式加速度计系统结构框图 处理电路的温度特性 AD1温度特性 （-198ppm/℃） AD2温度特性 （-162ppm/℃） DA温度特性 （-168ppm/℃） 其他部分电路的温度 系数（31ppm/℃） 除法运算的处理电路温度补偿结构图 加速度计系统理想传递函数： 加速度计系统带有温度系数的传递函数： 补偿电路系统带有温度系数的传递函数： 补偿电路系统带有温度系数的传递函数： 补偿电路系统归一化处理： G N M 处理电路补偿前后的温度特性 补偿后电路的温度系数变为-41 ppm/℃ 补偿前 补偿后 补偿前的电路温度系数为-366 ppm/℃ 优点： 简单，方便； 容易实现； 不需要预先测量温度曲线； 不需要专门的温度采集电路； 对模拟电路部分进行温控，对电路进行也进行补偿 标准差：27780quants 灵敏度： 216544373quants/g 稳定性：128μg 总结 展望 进一步提高加速度传感器的检测电容灵敏度。 进一步研究加速度计传感器的温度特性的重复性的问题。 设计温度特性较好的加速度传感器。 继续深入研究高精度温度控制装置，使其能在全温范围内能 保证所控制的温度精度。 采用更好的实时温度补偿方法实现更高的补偿精度。 研究加速度计系统的体积与功耗的改进。 采用更全面的测试手段，对所研制的加速度计系统的各个指 标进行测试及改进。 分段补偿 分段补偿 加速度计系统的输出 温度采集电路的输出 5度作为一个分