CDA系统及制程真空系统简介分析报告.ppt

压缩干燥空气及 制程真空系统 厂务四处空调课 ~第一单元~ 压缩干燥空气系统 压缩干燥空气系统 系统目的 ?提供低含水量之压缩洁净空气 需求设备 ?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器 质量要求(各厂需求略有不同) ?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3 压缩干燥空气系统 压力单位 ?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大气压力 ?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 绝对压力 ?表压力+大气压力 压力换算 ?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi 压缩干燥空气系统 风量单位 ?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min) 单位换算 ?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM 特定风量条件 ?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.H ?Normal Condition(NCMM)：1atm、0℃、0%R.H 压缩干燥空气系统 StandardNormal风量转换 ?理想气体定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：绝对压力 ?T：绝对温度 StandardNormal风量转换范例 ?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) Q(Normal) 压缩干燥空气系统 压缩干燥空气处理流程 压缩干燥空气系统 离心式空气压缩机 压缩干燥空气系统 离心式空气压缩机 压缩干燥空气系统 IGVBOV 压缩干燥空气系统 干燥机组件介绍 压缩干燥空气系统 干燥机组件介绍~气动控制阀件 压缩干燥空气系统 干燥机温度/压力表(机械式) 压缩干燥空气系统 干燥机温度/压力表(机械式) 压缩干燥空气系统 干燥机温度/压力表(机械式) 压缩干燥空气系统 干燥机温度/压力控制开关(电子式) 压缩干燥空气系统 Cycle Time(22hr) ?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间 吸附过程(11hr) ?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序 再生过程(11hr) ?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力 ?加热程序(240min max)：加温移除干燥粒子所含水份 ?冷却程序(410min max)：冷却干燥粒以恢复吸附能力 ?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力 压缩干燥空气系统 工作流程~吸附过程 压缩干燥空气系统 再生过程~泄压程序(8min) 压缩干燥空气系统 再生过程~加热程序(240min max) 压缩干燥空气系统 再生过程~冷却程序(410min max) 压缩干燥空气系统 再生过程~建压程序(15min) 压缩干燥空气系统 微粒子补捉原理 ~第二单元~ 制程真空系统 制程真空系统 系统目的 ?移除系统内气体、创造具真空度之空间 需求设备 ?真空机 (真空泵) 质量要求(各厂略有不同) ?系统末端真空度高于25.0 inHg 制程真空系统 压力单位 ?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大气压力 ?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 绝对压力 ?表压力+大气压力 真空度 ?负压力单位or压力单位(vac) 制程真空系统 真空系统流程图 制程真空系统 真空机组成 制程真空系统 真空机工作流程 制程真空系统 真空机表件/图控点/附属组件 制程真空系统 真空机~入口导引阀 制程真空系统 真空机~油温控制器 制程真空系统 主电源回路/控制回路 制程真空系统 主电源回路/控制回路 制程真空系统 控制回路 制程真空系统 控制回路~Local/Cont ~敬请指教~ 真空开关设定：下限?-26.0inHg 上限?-28.0inHg 设备启动(真空度小于26