- 1、本文档共49页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电子能谱 电子在铜中的透射、吸收和背散射系数的关系 样品本身要保持电平衡,这些电子信号必须满足以下关系: ip=ib+is+ia+it (4-69)式中:ip 是入射电子强度; ib 是背散射电子强度; is 是二次电子强度; ia 是吸收电子强度; it 是透射电子强度。 4.3.3 扫描电镜的构造 (2) 扫描系统 扫描系统是扫描电镜的特殊部件,它由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是:1) 使入射电子束在样品表面扫描,并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描;2) 改变入射束在样品表面的扫描振幅,从而改变扫描像的放大倍数。 (3) 信号收集系统 扫描电镜应用的物理信号可分为:1) 电子信号,包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测,其他电子信号用电子收集器;2) 特征X射线信号,用X射线谱仪检测;3) 可见光讯号(阴极荧光),用可见光收集器。 常见的电子收集器是由闪烁体、光导管和光电倍增管组成的部件。其作用是将电子信号收集起来,然后成比例地转换成光信号,经放大后再转换成电信号输出(增益达106),这种信号就用来作为扫描像的调制信号。 收集二次电子时,为了提高收集有效立体角,常在收集器前端栅网上加上+250V偏压,使离开样品的二次电子走弯曲轨道,到达收集器。这样就提高了收集效率,而且,即使是在十分粗糙的表面上,包括凹坑底部或突起外的背面部分,都能得到清晰的图像。图4.62。 (a) 加偏压前 (b) 加偏压后 图4.62 加偏压前后的二次电子收集情况 当收集背散射电子时,由于背散射电子能量比较高,离开样品后,受栅网上偏压的影响比较小,仍沿出射直线方向运动。收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。 同时,为了挡住二次电子进入收集器,在栅网上加上-250V的偏压。现在一般用同一部收集器收集二次电子和背散射电子,这通过改变栅网上的偏压来实现。将收集器装在样品的下方,就可收集透射电子。 (4)图像显示和记录系统 这一系统的作用是将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴极射线显像管电子束强度的变化,这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像,同时用照相方式记录下来,或用数字化形式存储于计算机中。 * 4.3 扫描电镜 SEM 4.3.1 SEM的特点和工作原理 ◆ 1965年第一台商用SEM问世;◆ EM能弥补透射电镜样品制备要求 很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高; ◆ 样品制备非常方便◆ 可直接观察大块试样◆ 固体材料样品表面和界面分析◆ 适合于观察比较粗糙的表面: 材料断口和显微组织三维形态 扫描电镜能完成: 表(界)面形貌分析; 配置各种附件,做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。 扫描电镜的成像原理,和透射电镜大不相同,它不用什么透镜来进行放大成像,而是象闭路电视系统那样,逐点逐行扫描成像。 由三极电子枪发射出来的电子束,在加速电压作用下,经过2-3个电子透镜聚焦后,在样品表面按顺序逐行进行扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。 这些物理信号的强度随样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受,经放大器按顺序、成比例地放大后,送到显像管。 供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源,此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。 因此,样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。 4.3.2 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子,当其入射固体样品时,将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程,激发固体样品产生多种物理信号。 特征X射线 背散射电子 它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子,前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子,能量没有发生变化;后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的电子。 二次电子 它是被入射电子轰击出来的样品核外电子,又称为次级电子。 在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的电子,结果如图4-57所示。二次
文档评论(0)