微执行器专题资料.pptVIP

MIT的Mehregany等人对UCB的静电马达进行了改进。将电极均匀地固定在圆周上形成转子，而把静子固定在外环上。他们在硅材料上制作出了多种类型的直径30-100um的转动马达(一块Si片上7000个)。转子厚2um，轴间隙0.3um、电极间隙1.5um，转子由3个凸起支撑，接触面积极小。 “Wobble”的转速达到4000rpm。 Mohregany et al, Proc. TRANSDUCERS 91, p59-62 ; Proc. MEMS90, p1-8. 静电直线马达: 下图时FUKUTA等人1997年发表的一种静电马达。驱动器70um长、50um宽、1um厚，弯头高1.5um。实验中使用±180V电压250Hz。静电直线马达是1987年由Gabriel等人最早提出的，后来不断改进，并获得应用。比如东京大学通口等人利用静电直线驱动原理来非接触搬动Si片。 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量， 鼓舞我们前进。 * 内容: 热驱动器: 固体的热膨胀、双片式驱动器； 压电驱动器: 压电悬臂粱驱动器、压电叠片式驱动器、压电马达； 三 静电驱动器: 原理、悬臂粱式静电驱动器和静电旋转式微马达等. 微执行器工作原理 -----在英语词典里“驱动器”定义为 Actuator: one that actuates, specif: any of various electric hydraulic, or neumatic mechanism by means of which something is moved or controlled indirectly instead of by hand (as a motor that turns of a large ship or moves the elevators of an airplane or an airbrake cylinder operated by a motor man) 动词“驱动”是Actuate vt1: to put into mechanical action most of hydraulically operated items of equipment are actuated by pistons and cylinders 可见，所谓驱动指的是对任何物体产生机械动作。所谓驱动器指的是能产生驱动动作的器件或装置，即不是人类的手，而是间接动作或控制机器的电气、气体、液体的机构。 微驱动器(Micro Actuator)又称微致动器和微执行器，是能够产生和执行动作的一类微机械部件或机器的总称。而侠义的说，指的是能将电能装换成特定形式的机械能的微装置。 ------微驱动器的驱动原理 驱动功能的实现可以基于各种不同的物理原理。例如，利用静电力的驱动，利用反压电效应的驱动、利用磁致伸缩、形状记忆合金等。 ------微驱动器装置分类 从装置类型来看分为微转动马达、微直线运动马达、微夹持器、微泵、微阀门等；从物理性质来看微驱动器可以分为静电、压电、电磁、磁致伸缩、热、光电、气动、生物、超导和记忆合金等。 ------研究微驱动器的必要性 传统的手表及其它许多精密制造业虽然能够将机械零部件微型化到相当小的程度，但是多数传统加工方法已经达到极限，所以人们才不得不求助于特殊微加工方法来制造微驱动器。微驱动器大多是毫米级的，运动件属于微米级，利用微加工(IC工艺、体硅加工和LIGA)，微驱动器制作相对容易实现。 ------现状 与传感器一起成为MEMS和TRANDUCERS中主要的研究对象，可以参考的论文很多。 热驱动器 利用固体或液体尺寸随温度变化的特性的驱动元件叫做热驱动器。一个有趣的例子是Keller等人设计的热膨胀驱动的镊子(1997)，8x1.5x40um尺寸的镊子自由时是合起来的，当75mw能量输入是它可以张开35um。热驱动器分为电阻加热方式和和介电损失加热方式等。双片驱动器是利用粘在一起的二种材料的热胀系数不同来实现机械动作；而形状记忆合金（SMA）属于单片驱动器。 电阻加热式的加热器通常集成在二个功能材料片之间。这种结构的特点是位移-输入能量的关系线性好。缺点包括高功率投入、低频带和较复杂的结构