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* * * * * * * 阻抗匹配的计算 讨论加速度传感器的传感原理 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 阻抗匹配的计算 讨论加速度传感器的传感原理 压电式加速度计结构示意如图所示,它首先将输入绝对振动加速度转换成质量块对壳体的相对位移。再经“弹簧”将 ????转换成与 ????成正比的力,最后经压电片转换成电荷输出。 由于第二次转换是比例转换,因而压电式加速度计的频率特性主要取决于第一次转换的频率特性。 * * * * * * * * 4 稳定性 稳定性是表示传感器经过长期使用以后,其输出特性不发生变化的性能。影响传感器稳定性的因素是时间与环境。 5 精确度 传感器的精确度是表示传感器的输出与被测量的对应程度。 传感器测量原理-传感器性能 6 测量方式 传感器工作方式,也是选择传感器时应考虑的重要因素。例如,接触与非接触测量、破坏与非破坏性测量、在线与非在线测量等。 传感器测量原理-传感器性能 静态特性 静态特性:检测系统在被测量处于稳定状态时的输入输出关系 检测系统 输入量x 输出量y 理想状态: 实际状态: a --- 零点输出 b --- 理论灵敏度 线性关系 非线性关系 x y a O 传感器测量原理-传感器静态性能指标 非线性原因: (结构原理性原因除外) 误差因素 检 测 系 统 输入 x 输入 y = f(x) 温度 湿度 压力 冲击 振动 磁场 电场 摩擦 间隙 松动 迟滞 蠕变 变形 老化 外界干扰 传感器测量原理-传感器性能指标 1)电磁干扰:干扰以电磁波辐射方式经空间串入测 量系统。 2)信道干扰:信号在传输过程中,通道中各元件产 生的噪声或非线性畸变所造成的干扰。 2)电源干扰:这是由于供电电源波动对测量电路引 起的干扰。 一般说来,良好的屏蔽及正确的接地可去除大部分的电磁波干扰。使用交流稳压器、隔离稳压器可减小供电电源波动的影响。信道干扰是测量装置内部的干扰,可以在设计时选用低噪声的元器件,印刷电路板设计时元件合理排放等方式来增强信道的抗干扰性。 传感器测量原理-传感器性能指标 线性度 回程误差 分辨力 重复性 灵敏度 传感器测量原理-传感器静态性能指标 检测系统的静态特性 (1) 线性度: 检测系统输入输出曲线与理想直线的偏离程度 相对误差 输出值与理想直线的最大偏差值 理论满量程输出值 理想直线: 亦称非线性误差 定义: ( non-linearity ) 表达: x y Δ 拟合直线 一般不存在或很难获得准确结果 利用测量数据,通过计算获得 传感器测量原理-传感器静态性能指标 获取拟合直线方法: (a) 端点连线法: (b) 最佳直线法: (c) 最小二乘法: (2) 回程误差 检测系统在正行程和反行程的输入输出曲线不重合的程度 相对误差 ?Hmax:正反行程输出值的最大偏差 定义: 亦称空程误差、滞后 ( hysteresis ) 算法: 传感器测量原理-传感器静态性能指标 (3) 分辨力: 能够检测出的被测量的最小变化量 2、分辨率 --- 是相对数值: 定义: 1、分辨力 --- 是绝对数值,如 0.01mm,0.1g,10ms,…… 说明: 表征测量系统的分辨能力 ( resolution ) 能检测的最小被测量的变换量相对于 满量程的百分数,如: 0.1%, 0.02% 3、阀值 --- 在系统输入零点附近的分辨力 传感器测量原理-传感器静态性能指标 (4) 重复性 同一条件下,对同一被测量,同一方向,多次重复测量,差异程度 对同一被测量值:各次测量数值的偏差程度 重复性是检测系统最基本的技术指标,是其他各项指标的前提和保证 测量数据的分散性 重复性误差:随机误差 标准差?:?大,则分散性大;反之亦然 计算:贝塞尔公式 yi---测量输出值,i=1,2,…,n y---输出值的平均值 对不同被测数值:各次测量曲线的偏差程度 ( repeatability ) 传感器测量原理-传感器静态性能指标 (5) 灵敏度 测量系统在稳态下输出量的增量与输入量的增量之比 斜率: a. 线性检测系统:灵敏度为常数; 例:间隙式平板电容传感器 定义: b. 非线性检测系统:灵敏度为变数 说明: (灵敏度系数) ( sensitivity ) 灵敏度 双曲线、非线性 传感器测量原理-传感器静态性能指
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