传感器第7章要点详解.ppt

（一）透射式光栅传感器 类型：透射式长光栅传感器、透射式圆光栅传感器。 光源：发光二极管（有的本身集成透镜、有的需要外加透镜）、白炽灯。 指示光栅特点：裂相光栅，一般由四部分组成，每一部分的刻线间距与对应的标尺光栅完全相同，但各个部分之间在空间上依次错开nW+W/4 。 第五节 光栅式传感器 图7-44 透射式长光栅传感器 输出信号： U0——电信号的直流电平，对应于莫尔条纹的平均光强； Um——电信号的幅值，对应于莫尔条纹明暗的最大变化。 信号处理方式：首先将u1、u3和u2、u4分别两两相减，消除信号中的直流电平，得到两路相位差为90° 的信号，然后将它们送入专门的电子细分和辨向电路，可以实现对位移的测量。 第五节 光栅式传感器 （二）反射式光栅传感器 1、反射式长光栅传感器： 发光二极管经聚光透镜形成平行光，平行光以一定角度射向裂相指示光栅，莫尔条纹是由标尺光栅的反射光与指示光栅作用形成，光电器件接收莫尔条纹的光强。 1－反射主光栅 2－指示光栅 3－场镜 4－反射镜 5－聚光镜 6－光源 7－物镜 8－光电元件 第五节 光栅式传感器 图7-47 反射分光式光学系统 2、反射分光式光栅传感器 组成：光源1、准直透镜2、分光棱镜3、闪耀光栅4（等腰三角形）； 光栅工作在自准状态，光束垂直投射线槽面，最大强度衍射光沿原路反射回3。A、B两处返回的两路衍射光经3投向透镜5，二者相干，相遇干涉，干涉条纹由光电器件6接收。 栅线刻划面与光栅平面夹角φ ，控制φ可以使要求的光谱级次m发生在最大光强方向，产生主闪耀条件： 式中，m—具有最大光强的光谱级次； —入射波波长； W—光栅的栅距。 第五节 光栅式传感器 工作时，光栅4沿x方向移动 ，入射光EB光程变化2BB1： 相应的变化 另一光束射到A处的光线相位变化 第五节 光栅式传感器 光栅移动，两束相干光相位差变化 若要求光谱级次m1=m2=2有最大光强 结论：光栅移动一个栅距，相干光束相位变化 ，干涉条纹变化4个周期。故光学系统具有光学四细分作用。 第五节 光栅式传感器 一、激光干涉传感器 (一)工作原理 典型应用：迈克尔逊双光束干涉系统 反射镜M2移动半个光波波长，干涉条纹明暗变化一次，测量位移x计算公式如下： 式中，n—空气折射率； —真空中光波波长； N —干涉条纹亮暗变化数目。 第六节 激光式传感器 图7-48 迈克尔逊干涉系统 第七章 光电式传感器 （二）单频激光干涉仪 图7-49 单频激光干涉仪光路原理图 1、5-1/4波片 2-偏振分光镜 3、4-角锥棱镜 6-分光镜 7-反射镜 8、9-偏振片 10、11-光电器件 第六节 激光式传感器 （三）双频激光干涉仪 图7-50 双频激光干涉仪光路原理图 1-分光镜 2-1/4波片 3-偏振分光镜 4、5-角锥棱镜 6-反射镜 7、8-检偏器 9、10-光电器件 第六节 激光式传感器 二、激光测微测头 绝对距离传感器，利用激光的方向性好的特点。 三角法测头原理图 图7-51 激光三角法测头原理图 第六节 激光式传感器 测量原理：利用几何三角关系测位移。激光聚焦成小光斑，成像于光电探测器，投影光轴与成像光轴夹角θ，被测位移x近似计算如下： 式中， d0 —被测点到成像物镜的距离； d1—光电探测器到成像物镜的距离。 因此，只要求出像点偏移 即可实现对位移x的测量。 第六节 激光式传感器 三、激光扫描传感器 （一）基本工作原理 氦氖激光器发出激光细束经扫描装置恒速对直径D的被测物体扫描，光电器件接收后转换成如图所示电脉冲，测出Δt即可求得直径D。 图7-52 激光扫描测长原理图及传感器输出波形 a) 原理图 b) 输出信号波形 第六节 激光式传感器 （二）激光扫描测径仪 物体轮廓的光强分布因激光衍射影响形成缓慢过渡区，不能准确形成边缘脉冲。为此要对电信号适当处理，处理方法： 取最大输出的半功率点（I0/2）作为边缘信号，但受激光光强波动、放大器漂移影响不易获得高精度； 对电信号通过电路二次微分，取二次微分的过零点作为轮廓的边缘位置，测量精度较高。如直径0.8mm，1μm的分辨力和±3 μm的测量精度。 第六节 激光式传感器 图7-53 激光扫描测径仪原理图 1-同步电机 2-多面反射镜 3-透镜 4-被测物体 5-光电器件 第六节 激光式传感器 图7-54 检出被测物轮廓边缘两次微分输出波形 * （一）功能型光纤传感器 1、光强度调制型 被