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1-2 研究動機與目的 目前已有許多產業紛紛投入將塑膠基板取代傳統的玻璃基板以提高電子產品研發和製作的可撓性(flexibility)。因為塑膠基板相較於玻璃材料其本身具有更高的耐衝擊性(impact resistance)，對於產品可以在使用上帶來更高的安全性，因此包括交通運輸、汽車工業、建築物外牆釉料和可撓性光電元件等皆有很大的應用市場。塑膠基板在建築業的應用方面，將亮光釉料鍍製於塑膠基板或傳統玻璃，其相較下能達到降低重量和提供更多元的設計自由度於複雜形狀產品開發。此外塑膠基板在平面顯示器、照明產品與能源應用方面，其可以開發更多的次世代新產品，如具有可撓曲性的液晶／有機電激發光二極體(LCD/OLED) 顯示器、可撓性OLED照明器材和可撓性太陽能電池板等。這類以塑膠材料為基板的顯示器或光電產品製作上，配合捲曲式(roll-to-roll) 鍍膜製程，即可以進行量產性製作和大面積鍍膜，以降低生產成本，最後達到製作使用大量的可拋棄式消費性電子產品。相較之下，目前以玻璃材料為基板的顯示器產業，為了因應市場需要和顯示器經濟切割尺寸，每當進入另一個新產品世代，在製程上皆要投入相當高額的生產設備和足夠的廠房空間。 為了提升氧化鋅薄膜的導電性所摻雜的異價元素以取代鋅的晶格位置，並且提供自電子，有效的提高載子濃度但並非所有的摻雜元素皆能形成這種置換型態，也有可能以中性原子存在晶格中或晶界及表面上，導致無法提供有效的自電子，因此在選擇摻雜元素時，必考慮其離子半徑應小於且接近鋅離子半徑，且不與氧化鋅反應成次要化合物 本實驗選擇以鋁作為摻雜的元素其優點為 資源豐富、無毒性、低成本、高化學穩定性。 AZO薄膜 鋁以三價的形式存在，當Al摻雜ZnO時，因Al3+離子會比Zn2+離子多出一個電子，故可提供一個自由電子增加其導電性。 而其化學式則為[8]： Al2O32Al+2O+O+e’ 因此摻入鋁原子後的AZO薄膜其晶格結構仍與未摻雜的氧化鋅薄膜相同，其次，摻入的鋁原子如果能有效取代鋅原子的位置，則能夠提供自載子，提高載子濃度，降低電阻率摻雜過量的鋁可能造成部的鋁原子佔據晶格結構中之間隙位置而使結晶形，導致載子遷移率(Mobility)下降，因此鋁摻雜必有一適當量 表1-2 各種不同元素摻雜氧化鋅，電阻率與載子濃度的整理[9] 為了得到更好的薄膜導電性與光穿透性，本研究結合金屬氧化物薄膜與金屬薄膜的優缺點，將兩種薄膜堆疊成三明治結構，形成金屬氧化物/金屬/金屬氧化物的透明導電膜。針對多層膜結構，探討金屬薄膜的厚度與不同金屬對透光性及電阻率的影響。在金屬的選擇上，由於導電率高的Ag、Cu Al活性大，其中雖以Ag的導電性最好，但也最不穩定[10,11]，三明治結構的透明導電薄膜中，即使有上下兩層氧化物薄膜的保護，長時間暴露在潮濕的環境中容易氧化而使得Ag 薄膜產生黑點。 本研究利用雙靶式磁控濺鍍系統配合基板旋轉來沈積AZO/metal/AZO多層結構（multilayer structure），在材料的選擇上以銅、鉬、作為金屬薄膜，觀察兩種金屬的導入對薄膜結構、熱穩定性及光電性質的研究。 表1-3為常見光學塑膠與玻璃之特性比較，可選用作為濺鍍基板的塑膠材料有很多種，文獻指出如PC、PET、PES、PMMA等透明塑膠材料均被研究應用於濺鍍透明氧化物的基板 表 1-3 常見光學塑膠與玻璃之特性比較 項目 Glass PC PET PES PMMA 比重(g/cm2) 2.2 1.2 1.33 1.3 1.2 吸水率(24hr%) - 0.2 0.08 0.2 0.1 可見光穿透率(%) 100 90 88 90 92 熔點(℃) 1650 220 250 210 160 連續耐熱溫度(℃) - 110 120 180 60~99 熱變形溫度(℃) - 148 100 190 80~90 抗拉強度MPa - 65 67 88 70 折射率（％） 1.42 1.59 1.65 1.65 1.46 以表1-1來比較四種塑膠基板熔點最高為PET，但PET吸水率卻遠低於PC、PES、PMMA，且熱變形溫度與連續耐熱溫度比其他三者要來的低，這會使製程中的加熱過程或濺鍍過程產生的熱能造成基板扭曲，進而影響薄膜性質。PET 塑膠基板是開發最早、產量最大、產品最多元化的聚合物，折射率約為 1.6，可見光區的穿透率約 89~90%。耐熱溫度為 120左右，特殊的 PET 更可忍受230左右的高溫，一般在光學方面的應用上其厚度約為 100~150μm 不等。 下表1-4[12]為製程特性比較，由於本實驗採用塑膠基板，故不能採用高溫製程，且CVD為高溫製程設備較電漿濺鍍法昂貴，所以本實驗選用電漿濺鍍法來進行實驗。 表1-4 各種製程特性比較