Schott技术-26技术报告.docVIP

技 术 资 料 元件光学事业部 2004年 7 月 田丰贵2008年12月译 页码：1/13 第26篇：光学玻璃均匀性 0 引言 Schott能够提供均匀性达到H5质量等级的光学玻璃。能够达到多少均匀性的质量等级主要与玻璃牌号和玻璃尺寸有关。绝大部分玻璃都能以均匀性好于等于H2的质量等级供货。 N-BK7玻璃是一种大量生产的高均匀性玻璃，尺寸大于300mm，均匀性好于等于H2。 尺寸小于150mm的N-BK7玻璃甚至可以达到H5的质量等级，并且可以大量生产。 1 均匀性的定义 光学玻璃最重要性能之一就是材料折射率良好的空间均匀性。通常情况下，我们能区分出材料折射率空间大范围的均匀性和偏离玻璃整体均匀性的空间局部偏差。条纹属于玻璃均匀性的空间局部变化。局部变化的范围大约是0.1mm~2mm（关于条纹的更多信息请见第25篇）。而空间大范围的折射率均匀性涉及到整块玻璃。 2 空间大范围不均匀性的产生 产生空间大范围不均匀性主要有如下三方面的原因： · 熔炼过程：光学玻璃采用连续熔炼工艺生产。折射率的不均匀性可由熔炼过程中化学组分的梯度引起。这种梯度可能由于某些组分的表面蒸发而产生，或部分玻璃溶液与炉材料接触发生化学反应而产生。在连续熔炼和浇铸过程中可以观测到折射率是随时间变化的。我们可以按时间段从浇铸的玻璃中分出均匀性最好的玻璃，这段时间玻璃的折射率几乎不变。 · 由于热平衡产生的密度变化：密度变化与玻璃的热历史有关。温度越高，达到热平衡密度的时间越短，温度越低，达到热平衡密度的时间越长。在转变温度Tg附近，温度不同，达到的热平衡密度是不同的。折射率均匀性是玻璃密度分布的函数。在Tg温度附近，不受控制的冷却将产生空间折射率的不均匀。在光学玻璃生产中，玻璃后续的精密退火可以防止这种不均匀。 2004年 7 月 田丰贵2008年12月译 页码：2/13 为了防止出现温度梯度，玻璃必须从稍微比Tg温度高一点的温度慢慢地冷却下来。为了达到高均匀性，大尺寸光学玻璃的精密退火要花费非常长的时间。 · 由于冷却过程中的温度梯度产生的永久应力。 3 均匀性类别 随着对折射率均匀性要求的不断提高，按照ISO 10110第4部分[5]的规定，折射率均匀性分为6类。SCHOTT对单块玻璃的均匀性类别H1~H5包含了ISO的1~5类。为了表述折射率变化的允差，SCHOTT也使用ISO标准的0类和1类。这种折射率变化允差是指块与块之间的折射率变化[4]。表1给出了一个均匀性类别划分的综合表。 表1：均匀性分类表 ISO 10110第4部分 均匀性类别 最大折射率偏差 SCHOTT 均匀性类别 备注 0 ±50×10-6 S0 折射率偏差的允差: 单块切割玻璃的光学均匀性始终好于±50×10-6 1 ±20×10-6 S1 折射率偏差的允差: 单块切割玻璃 ±20×10-6 H1 单块切割玻璃 2 ±5×10-6 H2 单块切割玻璃 3 ±2×10-6 H3 单块切割玻璃 但不是所有尺寸都能达到的 4 ±1×10-6 H4 单块切割玻璃 但不是所有尺寸和所有牌号玻璃都能达到的 5 ±0.5×10-6 H5 单块切割玻璃 但不是所有尺寸和所有牌号玻璃都能达到的 2004年 7 月 田丰贵2008年12月译 页码：3/13 光学元件中的折射率偏差会导致通过该玻璃元件的波前产生，量由下式计算： 式中：——波前； ——玻璃厚度； ——折射率偏差最大绝对值（波峰—波谷值）。 比如，平面波通过一个50mm厚的平板玻璃，玻璃的均匀性为H2类，那么波前的最大量为50mm×10×10-6=500nm。假设这块玻璃的均匀性为H5类，那么波前的最大量就只有50nm。 4 测量方法 测量光学玻璃的不均匀性有两种不同的方法： · 基于干涉测量的积法，更准确地说叫相位测量干涉法。这是一种应该优先选择的方法，因为它可以直接测量透射波前的量。均匀性是通过在样品通光路径上累积计算出来的。因此，检测不出通光方向的折射率线性梯度。为了消除样品表面不平的问题，可以将样品放在两个贴置板玻璃之间，在接触面上涂折射液；也可以将样品抛光，并按不同的方位测量以消除表面的影响。SCHOTT两种方法都在使用。 · 统计方法。在玻璃的不同部位上切取若干个待测样品，采用双狭缝干涉仪测量这些样品之间的折射率差值。这种技术SCHOTT也使用，在参考文献[6]中有讲解。 5 Direct 100 斐索干涉仪 SCHOTT在Mainz使用的是一台ZEISS公司生产的DIRECT100型斐索干涉仪，最大口径为508mm（20英寸）。使用别的干涉仪，测量口径可以到600mm，不过精度要低一些。图1表示的是DIRECT100的原理示意图。 DIRECT100由He-Ne激光光源和一个大型平行