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《精密和超精密加工技术》 课 程 报 告 题目：精密超精密加工技术综述 姓名：学 号：专业班级： 指导教师： 唐山 大学 201年 月m）/10/100(为检测用光源的波长)，精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。 图 1 泰曼干涉仪和斐索干涉仪原理示意图 常用的波面激光干涉仪有泰曼干涉仪和斐索干涉仪，两者干涉光路有所不同，如图1所示。 泰曼干涉仪由两个准直透镜、分束器。标准平板一级标准球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解为参考光束和检测光束。两者分别由标准平面和检测系统自准返回后，在经分束器，通过观测准直透镜重合，形成等厚干涉条纹。根据条纹的形状来判断被测件的光学质量。用泰曼干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一标准的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以形成平面的自准检测光束即可。 斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束、有限共轭距物镜和标准球面所组成。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束;部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度与1m；也可以检测无限。有限共轭距镜头的波面像差。 除了上述的两种常用的干涉仪外，还有横向、径向剪切干涉仪，这两种干涉仪没有参考波面。横向剪切干涉仪把被测光束分解为两个相同的，但相互横移的相干光束。径向剪切干涉仪则是把被测光束分解为波面面形相似，但横截面大小不相同的两相干光束。干涉出现在两相干光束的重叠区域内。横向剪切干涉仪不能直接测得波面像差；径向剪切干涉仪系统误差稍大。因此该两种干涉仪不如前两种常见。 波面激光干涉图的分析，可用目视或照相，也可以在波面激光干涉仪上，配备光电探测器件和微处理机及终端系统，扫描、采样和分析干涉花样。称这种波面激光干涉仪为数字波面激光干涉仪。 3 波面激光干涉仪用于工件检测 本文的应用对象是一台大型超精密非球面金刚石立式车床，可加工金属非球面光学镜面。通过数字波面激光干涉仪的投入使用，可以判定最终产品的面形精度是否符合设计要求，有效提高了质检能力。此外，波面激光干涉仪的工件检测功能也是后面介绍的精密对刀和误差补偿功能的基础。本文使用的数字波面激光干涉仪为WYKO RT16100型，该仪器采用斐索干涉原理可用于测量光学玻璃和金属（铜、铝合金等），光学警惕（锗、硅、硒化锌等）材料平面、球面表面的面形精度，并且配有计算机通过软件进行数据处理。图2所示 超精密车床加工的主要种类有平面（包括环形平面）、凸球面、凹球面以及抛物面等光学面形。根据被测工件的形状变化，测量的光路、工件安装位置、调整方式、镜头都有所不同。下面分别介绍不同工件使用波面激光干涉仪的区别。 3.1 平面测量 平面测量配置用于测量反射平面镜、透镜和窗片。因为干涉仪镜头使用的是平面镜，所以光路是哦明星的。右面的被测平面必须放在专用夹具上以便于对被测面进行倾斜调整，此时用两维调整架放置和调整样品就可满足要求。 3.2 凹球面测量 把干涉仪镜头换成球面标准镜，可以将干涉仪输出平面波变成球面波，用于球面样品和透镜的测量。测量时，被测样品凹面的曲面中心必须与球面标准镜的焦点精确重合。需要三维样品调整架用于调节被测样品。 3.3 凸球面测量 测量凸面样品的面形时，选择合适的球面标准镜必须满足以下条件：首先，被测凸球面的曲率半径必须小于球面标准镜的后焦距，与测量凹球面相反的是被测凸球面放在焦距位置内;其次，被测样品的曲率半径与通光孔径的比值（R/number）必须小于等于球面标准镜的F/number。也需要三维调整架用来调整被测样品的空间位置。 3.4 其他非球面测量 当使用波面干涉仪测量其他非球面，比如抛物面、椭球面和双曲面等时，需要额外的补偿镜，其原则就是可以让光路返回干涉仪内部，满足发生干涉的要求。 当光路设置好后，调整镜头和被测工件调整装置，使得反射回去的激光位置居中，并且干涉条纹尽量的稀疏，惦记遥控器上的测量按钮，或者在PC端软件上的新建测量按钮，干涉仪内部的电机将驱动光学机构微动，PC端软件根据变化的干涉条纹计算出被测工件的实际面形误差，并用图形方式给出直观的测量结果。 4 波面激光干涉仪用于精密对刀 车床加工的精度除了与车床本身的设计、制造精度有关外，还和加工工艺和对刀精度等有很大的关系。与理论道具位置的误差将会完全在加工出的工件面形上反映出来。对刀的本质是确定程序原点在机床坐标系中的位置。 图 3 圆弧刃金刚石刀具 如图3所示为本文所使用的超精密车床的圆