洁净室(区)悬浮粒子测定操作规程解析.docVIP

洁净室（区）悬浮粒子测试操作规程 建立洁净区悬浮粒子检测标准操作程序。 范围 公司洁净区的悬浮粒子检测。 责任 质量部对本SOP的实施负责。 程序 1 洁净区悬浮粒子检测采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。在所有卫生区并在无人状况（静态）下进行计数测定。在空气进口处，应在无人工作的情况下进行粒子计数。在平面图上标明取样点以便常规取样。 2 仪器：悬浮粒子计数器此计数器可测量直径为0.5(m浓度为106个/m3的尘埃粒子，进样速率为1m3/分。 3 监测原理：空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面积成正比。 4 悬浮粒子计数器使用要点： 4.1 使用仪器时应严格按照仪器说明书操作。 4.2 仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。 4.3 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 4.4 采样管必须干净，严禁渗漏。 4.5 采样管的长度，不得大于1.5m。 4.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。 4.7 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。 5 测试规则 5.1 取样点和取样频率：取样点和频率取决于验证结果。 5.2 测试条件 5.2.1 洁净室（或洁净区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45％～65％之间为宜）。 5.2.2 压差:空气洁净度级别不同的洁净室（或洁净区）之间的压差应大于5Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（或洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（或洁净区）一般呈相对正压。 5.2 测试状态 5.2.1 静态测试：洁净室（或洁净区）净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室（或洁净区）内没有生产人员的情况下进行测试。静态测试时，室内测试人员不得多于2人。 5.2.2 动态测试：洁净室（或洁净区）已处于正常生产状态下进行测试。 5.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.3 警戒指标（静态测试） 表1 洁净区 最大粒子数／m3 ≥0.5(m ≥5(m 10000级 100级 350,000 3500 20,000 2000 0 所产生粒子不影响最终产品的生产（如粉未的处理），可允许超出标准，在这操作完成10分钟后，粒子水平必须照此洁净区允许数控制。 5.4 测试时间 5.4.1 对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。 5.4.2 对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。 5.5 悬浮粒子计数 5.5.1 采样点数目及其布置 5.5.1.1 最少采样点数目 悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可以查表2确定。 表2 最少采样点数目 面积 m2 洁净度级别 100 100000 10 ≥10~20 ≥20~40 ≥40~100 ≥100~200 ≥200~400 ≥400~1000 2~3 - - - - - - 2 2 2 2 3 6 13 注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净室，指的是房间面积。 5.5.1.2 采样点的布置 5.5.1.2.1 采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。 5.5.1.2.2 采样点多于5点时，也可以在离地面0.8～1.5m高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。 采样点的布置还可根据需要在生产及工艺关键操作区增加采样点。 5.5.2 采样点的限定 对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。 5.5.3 采样量 不同洁净度级别每次最小的采样量见表3。 表3 最小的采样量 洁净级别 采样量(L/次) ≥0.5μm ≥5μm 100 5.66 - 2.83 2.83 100000 2.83 8.5 4.5.5.4 采样注意事项 5.5.4.1 在确认洁净室（或洁净区）送风量和压差达到要求后，方可进行来样。 5.5.4.2 对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口直向上。 5.5.4.3 当采样点与设备重叠时，可取消该采样点（在保证最少采样点数目的前提下），或将采样点设置在设备的上风侧。 5.5.4.4 布置采样点时，应避开回风口。 5.5.4.5 采样时，测试人员应在采样口的下风侧。 5.5.4.6 动态测试时，应避免由产品本身产生的粒子或微