原创力文档MEMS传感器在现代汽车上的应用以及未来发展趋势综述 目录 主要研究内容 MEMS的定义 MEMS传感器的优势 现代汽车上常用的MEMS传感器 发展趋势和现状 解决的关键问题（或技术） 论文选题及论题的意义 主要研究内容 总结MEMS传感器在现代汽车上的应用现状，展望汽车上应用的MEMS传感器未来的发展趋势。 MEMS 是什么？ MEMS（Micm Electro Mechanical System的缩写，即微电子机械系统）是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高薪科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。 MEMS传感器的优势： 体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低，可以测量各种物理量、化学量及生物量。 在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器，技术上日趋成熟完善，可满足汽车环境苛刻、可靠性高、精度准确、成本低的要求，极大地推动了电子技术在汽车上的应用。 现代汽车上常用的MEMS传感器 汽车上的MEMS传感器主要适用于发动机运行管理、车辆动力学控制、字适应导航、车辆行驶安全系统、车辆监护和自诊断等方面。 汽车传感器分布图 发动机控制系统所用的传感器是整个汽车所用传感器的核心，它的种类有温度传感器、压力传感器、流量传感器、
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