SiGe半导体在微电子技术发展中的重要作用.docVIP

本文由wonringking贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 第 38 卷第 1 期 2008 年 2 月 微 电 子 学 Microelect ronics Si Ge 半导体在微电子技术发展中的重要作用 谢孟贤1 , 古妮娜2 　 ( 1. 电子科技大学 微电子与固体电子学院 , 成都 　 610054 ; 2. 台积电 ( 上海) 有限公司 , 上海 　 201616) ( 1 . S chool of M icroelect ronics an d S oli d S t ate Elect ronics , Uni v . Elec. S ci. an d Technol . of Chi na , Chen g d u 610054 , P. R. Chi na; istics in f requency and speed imp rovement . Important f unction of Si Ge semico nducto r in technology develop ment of using st rain) is emp hasized specifically. Moreover , t he cur