第1章真空知识详解.ppt

* 工作方式 类型 抽气类型 工作原理 极限真空 优点与使用 缺点 机械泵 螺旋机械叶片泵 气体由特定空间内除去并排除至大气 气体压缩或膨胀 10-2 Pa 结构简单，单独使用或者作为前级泵。 存在油污染及水蒸气的问题。 变容积式泵 罗茨(Roots)泵 无油真空系统，价格较贵，需要机械泵预抽真空； 泵体与转子发热、膨胀，造成泵体损坏；当气体压力低于10-1 Pa时，气体回流造成抽速降低 气体动力式 涡轮分子泵 分子牵引 10-8 Pa 与旋片机械泵串联使用，需要机械泵抽预真空(1Pa)；无油污染。 价格昂贵。 捕获式 冷泵 欲除之气体不排除大气，而是通过物理或化学的方式永久或暂时吸附在系统中 物理吸收作用 10-8 Pa 需要机械泵抽预真空(10-1pa)；无油高真空，无振动，抽速快。 价格较贵；高温时，被吸附的气体又释放出来。 离子泵 寿命有限 * ★ ★ ★ 说明：由于不同的泵种的工作压力范围不同，实际运用中为达到一定的真空度，将两种或以上真空泵组合起来形成真空泵机组。 * 1.4 真空的测量 真空计 绝对真空计：通过测定物理参数直接获得气体压强的真空计 U型压力计、压缩式真空计 测量的物理参数与气体成分无关，测量比较准确 相对真空计：通过测量与压强有关的物理量，并与绝对真空计比较后得到压强值的真空计 放电真空计、热传导真空计、电离真空计 测量的准确度略差，而且与气体的种类有关 真空气压计是测量真空度或气压的仪器简称真空计（Vacuum gauges）又称真空规。是依据各种物理原理來量测压力或分子数目的多少。在科研和工业生产中广泛使用。 * 由仪器测出的真空度与真空室的实际真空度 之间可能会由于温度不同而存在误差。 在分子流状态，而且真空室与测量点之间存 在较细的管道连接时，测量压力pm和实际压力 pc之间的关系将可由分子净通量为零的条件得 出： Tc、Tm — 真空室和测量点处气体温度 * 1.4 真空的测量 * 1.4 真空的测量 1、 电阻真空计（皮拉尼真空规） 真空室的压强和灯丝电阻之间的存在的关系为：P↓→R↑ 测量真空的范围是105～10-2Pa 低压下，气体的热传导与压强有关 Q1辐射热量、Q2气体分子碰撞灯丝带走的热量 热传导真空计的一种，测定热丝电阻值随温度变化 类型：定温度型，定电流型 和定电压型。 * 直接用热电偶测量热丝温度 1.4 真空的测量 2、 热偶真空计 Q1辐射热量、Q2灯丝与热偶丝的传导热量、Q3气体分子碰撞灯丝带走的热量 气体压强和热电偶的电动势之间的存在的关系为：P↓→ε↑ 测量真空的范围是102～10-1Pa * 热偶真空规不能用于较低或较高真空度的测量。在气体压力高于100Pa的情况下，气体的热导率将不再随气体压力而显著变化。这时，用热丝温度测量气体压力方法的灵敏程度将迅速下降。而当气体压力低于0.1Pa以后，由气体分子传导走的热量在总加热功率中的比例过小，测量的灵敏度也将呈下降趋势。 缺点：在测量区间内指示值呈非线性，测量结果与气体种类有关，零点漂移严重等。 优点：仪器的结构简单，使用方便。 热电势随气体压力的变化曲线 * 热偶真空规和皮拉尼真空规 共同点：热偶真空规和皮拉尼规都是以气体的热导率随气体压力的变化为基础而设计的，它们是低真空时最常用的测量手段。 热偶真空规和皮拉尼真空规区别： 热偶真空规：通过测量热丝温度实现 皮拉尼真空规：通过测量热丝的电阻随温度的变化实现 * 1.4 真空的测量 3、 电离真空计－测量高真空 利用气体分子电离原理进行真空测量的 工作原理：它由阴极，阳极和离子收集极组成，热阴极发射电子飞向阳极过程中，使气体分子电离，并被收集电极收集形成电流，根据离子电流强度测出气体压强。 特点与使用：属高真空和超高真空测量，通常与热偶规同时使用。 阴极发射的电子电流强度Ie、气体分子的碰撞截面、气体分子的密度 * 电子加速后，与气体分子碰撞产生电离，产生的正离子数正比于压强P，则有 L为电子从阴极飞到加速极的总路程长度，Ie为阴极灯丝发射电流，W为电离效率 测量范围1～10-7Pa 1.4 真空的测量 K为常数，成为电离真空计的灵敏度 ? 电离真空计－测量高真空 * 1.4 真空的测量 为了消除电离真空规本身放气现象对于高真空度测量值的影响，在使用电离真空规之前需要将其加热至稍高的温度进行预先烘烤，以减少测量时放气现象的影响。 由于不同气体分子的碰撞电离截面不同，因而电离真空规的测量值也与所测的气体种类有关。 电离真空规可检测的压力下限受阴极发射的高能光子在离子收集极上产生的光电效应所限制。这种