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扫描探针显微镜(SPM)及其应用 本原纳米仪器有限公司 E-mail：wjh@ * 扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopes, SPM） 本原CSPM-2000系列扫描探针显微镜 ——集成了扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)和横向力显微镜(LFM) 技术指标 分辨率: 0.1nm量级(原子级分辨率) 最大扫描范围: 100um X 100um 中科院化学所本原纳米仪器公司 E-mail:sales@ 100080 北京中关村北一街二号 Tel:(8610 510700 广州先烈中路80号汇华大厦1910 Tel:(8620基本原理 中科院化学所本原纳米仪器公司 E-mail:sales@ 100080 北京中关村北一街二号 Tel:(8610 510700 广州先烈中路80号汇华大厦1910 Tel:(8620利用压电材料，将电压转变为位移，控制探针在纳米级的距离上对被测样品的表面进行扫描，同时记录扫描过程中探针和样品的相互作用，从而得到样品的表面信息。 极高的可控空间定位精度 (优于0.1nm量级) SPM 的技术核心: 极高的分辨率 (可达原子级分辨) 极高的操纵和加工精度 (可实现单原子操纵) SPM不但是纳米科技的锐利眼睛， 而且是纳米科技的灵巧手指! 中科院化学所本原纳米仪器公司 E-mail:sales@ 100080 北京中关村北一街二号 Tel:(8610 510700 广州先烈中路80号汇华大厦1910 Tel:(8620中科院化学所本原纳米仪器公司 E-mail:sales@ 100080 北京中关村北一街二号 Tel:(8610 510700 广州先烈中路80号汇华大厦1910 Tel:(8620SPM技术 经过20年的发展，迄今SPM家族已经包括了20多种仪器，并且一直还在发展之中。 10-100nm量级 光探针接收到样品近场的光辐射 近场光学显微镜(SNOM) 1nm量级 带电荷探针-带电荷样品间静电力 静电力显微镜（EFM） 10nm量级 磁性探针-磁性样品间的磁力 磁力显微镜（MFM） 探针-样品间相对运动横向作用力 横向力显微镜（LFM） 统称为扫描力显微镜(SFM) 探针-样品间的原子作用力 原子力显微镜（AFM） 0.1nm量级 (原子级分辨率) 探针-样品间的隧道电流 扫描隧道显微镜(STM) 扫描 探针 显微镜(SPM) 备注 分辨率 检测信号 名称 SPM应用于各学科研究时所遇到的各种现象和问题及其解决，推动着新的SPM仪器的发明和完善，而且，SPM技术与其他技术的结合，产生了许多新技术和新发现。 扫描探针显微镜(SPM)主要包括扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，STM)和原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM) STM 控制探针在样品表面进行扫描,通过检测扫描过程中探针和样品表面局域间的隧道电流得到样品表面的信息 AFM 控制探针在样品表面进行扫描,通过检测扫描过程中探针和样品表面局域间的作用力得到样品表面的信息 中科院化学所本原纳米仪器公司 E-mail:sales@ 100080 北京中关村北一街二号 Tel:(8610 510700 广州先烈中路80号汇华大厦1910 Tel:(8620二种最常用的SPM技术 原子级高分辨率。如STM在平行和垂直于样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm和0.01nm，即可以分辨出单个原子，具有原子级的分辨率 可实时地得到实空间中表面的三维图像，