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第 卷第 期 年 月 43 9 红外与激光工程 2014 9 Vol.43 No.9 Infrared and Laser Engineering Sep.2014 异形口径离轴非球面光学加工与测试技术 王孝坤 ( 中国科 学院长春光 学精 密机械 与物理研 究所 中国科 学院光 学 系统先进制造技 术 重点 实验 室 ，吉林 长春 130033) 摘 要： 针 对 离轴非球 面制造 的难 点 ， 研 究分析 了碳化硅 非球 面尤其是异形 离轴非球 面加 工和检 测 的各项关键技 术 。 首先利 用加 工 中心 DMG 对 离轴非球 面进行 了铣磨和表 面成形 ，然后运 用 实验 室 自 行研制 的非球 面加 工 中心 FSGJ-2 对 离轴非球 面进行 了研磨和抛 光 ， 最后利 用 离子束对其进行 了精 抛光 ， 并分别利 用三 坐标测量仪和激光跟踪仪 对非球 面进行 面形轮廓 测定和光 学参数及 几何 量 的精 确控制 。 结合 工程 实践对一 口径 为 600 mm×270 mm 的类八 角形 离轴碳化硅 非球 面反射镜进行 了超精 加 工与检 测 ，并专 门设 计研 制 了光 学补偿检 测装置 ，对其进行 了零位补偿 干 涉测量 ，其 最终 面形 PV 值 为 0 .219 λ ，RMS 值 为 0 .018 λ 。 关键词： 光 学加 工 ； 光 学检 测 ； 计算机控制光 学表 面成形 ； 异形 口径 ； 离轴非球 面 中图分类号： TQ171.65 ；O436 .1 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)09-2959-05 Fabrication and testing of an off-axis aspheric surface with abnormal shape Wang Xiaokun (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology , Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033 , China) Abstract : In order to overcome the difficulty of manufacturing off -axis aspheric surface , the key technologies of fabricating and testing SiC aspheric mirror especially for off -axis asphere with abnormal shape were studied . The off -axis SiC aspheric surface was grinded and polished by DMG, FSGJ -2 numerical control machine and IBF ,