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第 卷第 期 年 月
43 4 红外与激光工程 2014 4
Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014
微反射镜阵列在光束整形中的应用
杜 猛 1,2 ，邢廷 文 1 ，袁 家虎 1
( 1. 中国科 学院光 电技 术研 究所 ，四川 成都 610209 ； 2 . 中国科 学院大学 ，北京 100049)
摘 要： 在激光 的 实际应 用 中，需要利 用光束整形技 术将激光 器的输 出光束调制 为期望 的光 强分布 。
微机 电 系统的发展 为光束整形提供 了一种解决方案 。 采 用微反射镜 阵列 ，实现 了激光光束 的整形 。 基
于随机化 的思想提 出了相应 的算法 ，分析 了算 法在 不 同单元数 目和不 同噪声水平下的表现 ，为 实际应
用提供 了有价值 的参考依 据 。 最后 ，建立 了实际的光路模 型 ，进行 了光线追迹 ，给 出单模 高斯 光束 以
及考虑噪声情 况下的仿真结果 。分析 结果表 明 ，使 用微反射镜 阵列可 以有效地 实现 不 同输入 下的激光
光束整形 ，并且具有极 大的灵活性 ，为光束整形提供 了一种新 的手段 。
关键词： 光束整形 ； 微反射镜 阵列 ； 仿真
中图分类号： TH74 ； O435 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)04- 1210-05
Application of micromirror array in beam shaping
1,2 1 1
Du Meng , Xing Tingwen , Yuan Jiahu
( 1. Institute of Optics and Electronics ，Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209 , China ;
2 . University of Chinese Academy of Sciences, Beij ing 100049 , China)
Abstract : In the application of laser , the technique of beam shaping was used to modulate the beam to
expected intensity distribution . The development of micro electronic and mechanic system provided a
solution . The beam shaping was realized by the using of micro mirror array . Based on the idea of
randomization , an algorithm was proposed for the application ，and the performance under di
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