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第44 卷第3 期 红外与激光工程 2015 年3 月
Vol.44 No.3 Infrared and Laser Engineering Mar.2015
光学薄膜参数测量方法研究
李凯朋，王多书，李 晨，王济州，董茂进，张 玲
(兰州空间技术物理研究所 表面工程技术重点实验室，甘肃 兰州 730000)
摘 要 为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法，对优化膜系结构和改进制备工
艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上，将包络 法与全光谱拟合反演法相结合，
提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络 法计算的单层膜光学薄膜参数近似
值作为参考，设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限，结合适当的评价函数构建计算物理模型，并
选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计 TiO 、SiO 单层膜和膜
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系为：G |0.5HLHL0.5H |A (H-TiO ，L-SiO ) 的多层膜进行测量验证，并分析了该测量方法的效率、准确
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度、稳定性等。
关键词 光学薄膜； 光学薄膜参数； 包络 法； 全光谱拟合反演法； 包络 -全光谱拟合反演法
中图分类号 O484 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2015)03-1048-05
Study on optical thin film parameters measurement method
Li Kaipeng, Wang Duoshu, Li Chen, Wang J izhou, Dong Maoj in, Zhang Ling
(Science and Technology on Surface Engineering Laboratory , Lanzhou Institute of Space Technology and Physics,
Lanzhou 730000 , China)
Abstract: Studying more precise and efficient measuring method for determining optical parameters of
thin films plays a guiding role in improving design and optimizing preparation process of optical thin
films. Several traditional measuring methods were introduced briefl
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