基于225kV射线源的显微CT成像系统研发解读.pdfVIP

中国体视学学会cT理论与应用分会、中国工程物理研究院 2008年7月 应用电子学研究所、(CT理论与应用研究》编辑部论文集 基于225kV射线源的显微CT成像系统研发 许州1，李保磊2，陈浩1，王远1，黎明1，张成鑫1，卢和平1 1．中N-r程物理研究院应用电子学研究所，四川绵阳621900 2．北京航空航天大学机械工程及自动化学院，北京100083 摘要：基于225kV微焦点射线源和PaxScan2520平板探测器，本文详细介绍了口CI一225显微CT 成像系统的系统组成，技术指标以及制约像质提高的主要因素。阐述了系统研发过程中取得的 技术创新。主要表现在四个方面。一、在转台旋转中心(c0R)确定方面，提出了一种基于正弦 图信息的COR自动确定方法，避免了工程应用中时常手动调节中心偏移；二，在空间分辨率方 面，提出了一种基于投影补偿的空间分辨率提高方法；解决了投影截断情况下进行高分辨率重 建的问题；三，在噪声抑制方面，改进了NL-means噪声抑制方法，解决了显微cT图像噪声大， 密度分辨率低的问题；四，在伪影抑制方面，提出了基于特征识别的环状伪影校正方法和基于B 样条曲线拟合的环状伪影校正方法，两种方法各有特点，互为补充，同时提出了一种简单的基 于散射估计的散射抑制方法，抑制了由散射引起的伪影，实验结果验证了这些算法的正确性． 最后介绍了系统在实际工程中的应用情况。 关键字：显微c丁；旋状中心；空间分辨率；噪声；伪影 1 引言 近年来，随着微机电产品(I蝴EMS)器件检测、石油岩芯检测、复合材料检测等领域对 工业CT技术空间分辨率要求的不断提高，常规CT技术在很多情况下已经不能满足检测要 求，高空间分辨率的显微工业CT技术急需得到快速发展和推进u_33。微机电系统的快速更 新换代使得其对质量检测技术的要求更为苛刻H1，先进的微机电产品具有微米级的线路，随 着集成技术的提高这一尺度还会进一步降低．目前的光学或者电子显微成像技术虽能提供 高到微米级的空间分辨率，但是对于试件的隐含结构往往无能为力。石油岩芯依靠高分辨 率的CT图像可以依据一定的专业知识判断当地的地下油层的分布情况以及石油的含量，为 石油勘探提供强有力的帮助乜-31。航空航天复合材料的检测要求非常高，往往要求检测出微 米级的裂纹和缺陷曲1。 显微CT作为一种新型的无损检测及评估技术，其工作原理和传统CT相同，其与传统 CT的主要不同之处是，它采用微焦点射线源，尺寸范围在200微米到几个微米，这使得成 像的空间分辨率可以得到很大的提高。显微CT的性能很大程度上依赖于所用的X射线源的 特性，由于同步加速器能够提供单色和高光子流量的X射束，故能提供高分辨率和高信噪 比的优良成像条件，因此它是X射线显微成像的良好射线源选择之一，但是此种设备价格 昂贵，使得整个检测系统成本很高。另一方面，X射线源技术得到了很大发展，目前市面上 能生产出靶点小到几微米的x射线源，这种射线源允许对微型工件在很大几何放大比下辐 照成像而不受几何不清晰度的影响，从而获得很高的空间分辨率。同时，面阵平板探测器 许州等：基于225kV射线源的显微CT成像系统研发 225 技术也得到了很快的发展，其具有成像面积大，速度快，检测效率高的特点。基于此，本 文采用微焦点X射线源结合平板探测器的硬件设施对高分辨率CT成像系统进行研究开发。 限制显微CT技术应用的因素主要有以下几个，首先，高分辨率显微CT由于是采用微 焦点成像，故对成像系统机械传动机构及成像几何参数的精度要求非常高。其次，对于显 微cT，高分辨率成像往往需要很高的放大比，所以，显微cT对尺寸稍大的工件进行检测时 往往会造成投影数据的截断，用截断的投影数据重建会带来严重影响像质的伪影，使得显 微CT的显微功能不能得到有效的发挥。第三，显微cT由于射线源尺寸很小，导致射线管 功率比较低，因此发射出来的射线强度比较低，属于低剂量的射线成像，因此投影图像和 cT图像均有较强的噪声。降低了成像的密度分辨率。第四，主要是由于各种物理原因引起 的CT图像的伪影，严重影响CT图像的质量和缺陷的判读。基于以上分析，作者在系统研 发过程中主要针对以上四个方面对显微CT的成像优化进行了系统的研究。 2系统组成及性能指标 2．1系统组成