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变换器：将一种物理量转换为另一种物理量的器件
传感器：将一种物理量或化学量转换为电量的器件
致动器：将电量转换为物理量或化学量的器件
传感器、变换器、致动器的关系
第二章 典型微系统的工作
原理及应用 transducer
sensor actuator
声波传感器
生物传感器 2.1微传感器
2.1微传感器 压力传感器 •微传感器是目前应用最广泛的MEMS产品 [Madou，
…
1997]
. 定义：将能量从一种形式转换为另一种形式，并
针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能
容 内 要 主 热力驱动 量输出的器件。
压电驱动
2.2微驱动
静电驱动 物理量A 物理量B
… (非电量) 敏 感 材 料 (电量)
微型夹钳 (变换型)
2.3带有微型致动 微型电动机 输 输
器的MEMS器件 微型阀 入 出
微型泵
微型流体器件 (P1) 电量 (P2) P1≠P2
(量变型)
（1）微型声波传感器
定义：将机械能转换为电能产生声波 发展历程:
应用：气体成分的检测、Sonar
主要激励原理：压电效应、磁致伸缩效应 1885:英国 物理学家Releigh在研究地震波时
•表声波传感器(SAW: Surface Acoustic Waves) 发现了SAW
1885年,英国物理学家瑞利（Lord Rayleigh）根据对地震波 1949：Bell 实验室发明了 LiNbO3压电材料
的研究，首次提出了声表面波,即,瑞利波。它是能量集中于 1965：美国科学家R.M.W
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