高灵敏微悬臂梁探针设计制作及特性的研究.pdf

摘 要 摘 要 微悬臂梁作为微机电系统(Microelectromechanical system, MEMS) 中常用的 微传感器，被广泛应用于力检测、质量检测、加速度检测、气压检测、化学生物 检测等领域。特别地，用以检测样品电子自旋、核自旋的磁共振力显微镜(MRFM) 需要能够检测到aN(10-18N)甚至更小力的高灵敏微悬臂梁。热机械噪声限制了悬 臂梁极限力探测。基于此，更长、更薄、更窄的高品质因数(Q 值)微悬臂梁在极 低温下，是测量极小力的理想探测器。然而，尺寸变长变窄变薄会限制 Q 值， 因此设计时需要综合考虑。由于尺寸特性，高灵敏微悬臂梁与普通悬臂梁相比， 刚度低三个数量级，使得加工时容易造成损坏。此外，目前对于高灵敏微悬臂梁 的性能研究尚不全面，需要进一步进行深入研究。 本文基于MEMS 微加工及MRFM 系统，以高灵敏单晶硅微悬臂梁为研究对 象，以提高单晶硅微悬臂梁制作成批率、优化微悬臂梁结构、完善微悬臂梁特性 研究为目标，对单晶硅微悬臂梁的结构设计、基于 SOI 圆片的制作工艺、空气 及真空中