第4章__MEMS设计中的尺度效应讲解.ppt

对于磁通量为φ的磁场中的带电导体，N匝线圈产 生的电动势为 由电磁学可得 或 产生的电磁力为 恒定电流流动情况，则电磁力表示为 由电磁力表达式和i∝l2，得电磁力的尺度为 F∝(l2)(l2)=l4 reducing the wire length by half (1/2) result in reduction of F by 24 = 16 times, This is the reason why electromagnetic forces are NOT commonly used in MEMS and microsystems as preferred actuation force. 5.电学中的尺度 电是MEMS和微系统的主要能源 电主要应用在许多微系统的静电、压电、热阻加热驱动上 电在微系统中的应用 电动力泵 机电转换 电的尺度规律是一个很重要的设计问题 从物理规律得出电的尺度规律： 电阻： ρ、L和A分别是电阻率、长度和导体的横截面积 电阻功率损失： 其中 V是所加电压∝(l)0 电场能： 其中 ε为电介质的介电系数∝(l)0 E是电场强度∝(l)-1 由电阻功率损失的表达式可知，由于材料的电阻引起的功率损失服从一阶定律，即P∝l1 对一个带有电源的系统，可获得的电源与系统的体积直接有关，即Eav∝(l)3 功率损失与可用能量的比率为 式中说明了能量供给系统尺度减少时的缺点： 电源尺度减小10倍会导致电阻增加，从而引起100倍的功率损失 。 结论： 从上面可知： 尺寸(l)减小10倍将会导致电磁力减小104=10000倍。静电力的减小只是线性尺度减小的100倍。因此可得出结论，电磁力在尺度方面不利的减小是静电力的100倍 6. 流体力学尺度问题 本节主要讲述： 为什么毛细流动不能随意按比例缩小 在微流动中什么可较好地替代毛细流动 如图中的粘度表示为 μ为流体的动态粘度 Rs=Vmax/h为剪切速率 剪应力τ=Fs/A Fs为剪力。 例题 当圆管的半径减小10倍，应用尺度规律求解其体积流量和压降。并观察此例的结果。 解： 由Q∝a4（a为管的直径）得 体积流量减小104＝10000倍 由ΔP/L∝a-2得 单位长度压降提高102＝100倍 结论：当管的半径减小10倍时，单位长度的管压降将提高100倍。上述分析表明在微米和亚微米尺度下，由于流体流动的尺度减小所引起的不利情况需要寻找新的原理代替传统的容积驱动。这些新原理包括压电、电渗、电湿润和电液力驱动。 7.热传递中的尺度 微系统的热传递常采用传导和对流的形式，本节将对这两种模式的热传递的尺度进行综述 本节将给出两个范围的尺度规律： 一个用于介观和微观 一个用于亚微米 (1)热传导中的尺度 热通量尺度 固体中的热传导符合傅立叶定律，对于一维x坐标方向的热传导，有 其中：qx是沿x方向的热通量；k是固体热率，T(x,y,z,t) 为固体在直角坐标系下，时刻为t时的温度场。 更一般的固体热导率的形式为 由式可知，对于固体介观和微观的热传导，其尺度规律为 从这个尺度规律中可看出，尺度的减小将导致固体中整个热流量的减小。 固体在亚微米尺度内热流的尺度规律可通过合并上面两个式子得到 在亚微米尺度内热导率的尺度 由固体在亚微米尺度内热流的尺度规律可得固体 热传导时间的尺度 例题 固体的尺寸减小10倍时 1）求总热流的变化和所需的导热时间； 2）如果这个固体处于亚微米尺度，总热流和传热时间将发生什么变化？ 解： 1）根据固体在亚微米尺度内热流的尺度规律和热传导时间的尺度规律，当固体的尺寸减小10倍时，总热流的变化和所需的导热时间都减小(10)2=100倍 2）在亚微米尺度内，当固体的线性尺度减小10倍，总热流Q和热流时间都减小(10)2=100倍 （2）热对流中的尺度 介观和微观范围内对流热传递的尺度 从图5.23可知，边界层出现在固体与液体的界面处。流体中热传递是以对流的方式，表达式为(5-40) 由第五章可知，热传递系数主要与流体速度有关， 与热流的尺度关系并不重要。 根据上式，热流总量主要与横截面积A有关，而 面积的阶次为l 2 。因此，可得出流体在介观和微观 范围对流热传递的尺度为Q∝(l2)。 其更普通的形式为 在亚微米范围内热对流的尺度 当气体通过亚微米尺度的狭窄管道时，由于边界层效应变为主要因素，表面上的对流热传递实际上变为气体分子之间的热传导，如图6-9 所示。 气体的热导率与气体分子的平均自由程λ有关, 平均自由程与气体质量密