在光纤上制造微球探针的实验教案.docVIP

在光纤上制造微球探针的实验报告 摘要 许多微孔和沟槽的侧壁通过当前光学或非接触式测量仪器不易衡量，因此微触探测器在市场上有越来越多的要求。一个好的球形探针是非接触测量结构的基础。本文提出了一种低成本和在钨丝尖端制造微球的在线系统，这种系统主要是使光纤融化器的。基于电弧放电能量吸收的原则和表面张x力现象,形微球在光纤尖端形成。实验结果表明,选择适当的工艺参数,如电弧,清洁电弧功率补偿,和清洗时间,直径为300微米，圆度误差为6微米的球体可以在直径为125微米的的单模光纤上形成。在球体形成的过程中，旋转钨丝。可以抑制球中心和光纤维中心的偏心距，使其不到3微米。通过在尖端光学纤维尖端直接形成球形探头，这种方法演示了一个简单的进程内尺寸控制方法缩短生产期，使其成为为3 d微探针。探针可用于微尺度/纳米坐标测量机(机)来提高测量分辨率和扩展微型物体能力。 关键词:微球探针、光学纤维,纤维融合,进程内测量 1.介绍 尽管许多一维纳米测量系统已经成功地开发和商业化,在过去的十年超高精密三维表面测量技术一直在重视研究。有相当多的光学分析器3 d的能力作者任何信件都应该向谁解决。 非接触式测量的分辨率纳米,如众所周知的白光干涉仪和全息数字显微镜[1]。这些设备无法应对高纵横比的侧壁几何测量微孔、沟槽、边缘。接触的系统设计和集成式微型/纳米尺度的三维坐标测量机(3 d CMM)已成为